[发明专利]药液生成方法、药液生成装置及基板处理装置

权利要求书

1.一种药液生成方法，生成用以对基板上所形成的膜进行处理的药液，所述药液生成方法的特征在于，包括：

将含有氧气的含氧气体及含有惰性气体的含惰性气体的混合比设定为与规定的目标溶解氧浓度相对应的混合比的工序；

操作第1流量调整阀而从含氧气体配管以第1流量供给所述含氧气体至混合气体配管，并操作第2流量调整阀而从含惰性气体配管以第2流量供给所述含惰性气体至所述混合气体配管，以在所述混合气体配管内生成所述含氧气体与所述含惰性气体的混合气体的工序，其中所述第1流量与所述第2流量的流量比对应所述混合比；以及

气体溶解工序，通过将所述混合气体供给至药液来使所述混合气体溶解至药液中，以调整药液的溶解氧浓度。

2.根据权利要求1所述的药液生成方法，其特征在于，所生成的药液包括含有四甲基氢氧化铵的药液。

3.根据权利要求1或2所述的药液生成方法，其特征在于，所述气体溶解工序包括通过在药液中喷出所述含氧气体及所述含惰性气体来使药液中产生气泡的工序。

4.根据权利要求1或2所述的药液生成方法，其特征在于，成为所述气体溶解工序的对象的药液包括从处理单元回收的药液。

5.根据权利要求1或2所述的药液生成方法，其特征在于，还包括：

测定工序，测定由所述气体溶解工序进行气体溶解后的药液中的溶解氧浓度；

惰性气体溶解工序，在所述测定工序测定出的溶解氧浓度高于所述目标溶解氧浓度的情况下，将所述含惰性气体供给至由所述气体溶解工序进行气体溶解后的药液，由此使所述含惰性气体溶解至由所述气体溶解工序进行气体溶解后的药液中；以及

含氧气体溶解工序，在所述测定工序测定出的溶解氧浓度低于所述目标溶解氧浓度的情况下，将所述含氧气体供给至由所述气体溶解工序进行气体溶解后的药液，由此使所述含氧气体溶解至由所述气体溶解工序进行气体溶解后的药液中。

6.一种药液生成方法，生成用以对基板上所形成的膜进行处理的药液，所述药液生成方法的特征在于，包括：

气体溶解工序，通过将含有氧气的含氧气体及含有惰性气体的含惰性气体供给至药液来使所述含氧气体及所述含惰性气体溶解至药液中，并且通过将供给至所述药液的所述含氧气体与所述含惰性气体的混合比设定为与规定的目标溶解氧浓度相对应的混合比来调整药液的溶解氧浓度，

所述气体溶解工序包括：

第1气体溶解工序，通过将供给至所述药液的所述含氧气体与所述含惰性气体的混合比设定为规定的混合比来调整药液的溶解氧浓度；以及

第2气体溶解工序，针对由所述第1气体溶解工序进行气体溶解后的药液，将供给至所述药液的所述含氧气体与所述含惰性气体的混合比设定为与所述目标溶解氧浓度相对应的混合比，由此来调整药液的溶解氧浓度。

7.根据权利要求6所述的药液生成方法，其特征在于，所述第1气体溶解工序中所述含氧气体的供给流量相对于所述含惰性气体的供给流量的所述混合比与所述第2气体溶解工序中所述含氧气体的供给流量相对于所述含惰性气体的供给流量的所述混合比相等。

8.根据权利要求6所述的药液生成方法，其特征在于，所述第1气体溶解工序中所述含氧气体的供给流量相对于所述含惰性气体的供给流量的所述混合比低于所述第2气体溶解工序中所述含氧气体的供给流量相对于所述含惰性气体的供给流量的所述混合比。