[发明专利]一种实现垂直结构mLED或uLED巨量转移的方法有效
申请号: | 201810994703.9 | 申请日: | 2018-08-29 |
公开(公告)号: | CN109326548B | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 陈燕丽;唐海红;郭长锦;江嘉庚 | 申请(专利权)人: | 华映科技(集团)股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L25/075 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 蔡学俊 |
地址: | 350015 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 实现 垂直 结构 mled uled 巨量 转移 方法 | ||
本发明涉及一种实现垂直结构mLED或uLED巨量转移的方法。将磁性材料预先处理于LED的正电极面;将磁性材料喷涂于接收基板上,后贴附ACF,同时将共阴基板贴附上ACF;结合网板与磁性材料控制电路,将LED贴附于接收基板上,后施加一定温度、压力,进行bonding;将共阴基板施加一定温度、压力后,进行bonding。本发明方法能够实现垂直结构mLED或uLED巨量转移。
技术领域
本发明涉及一种实现垂直结构mLED或uLED巨量转移的方法。
背景技术
液晶显示器,构造是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶,下基板玻璃上设置TFT(薄膜晶体管),上基板玻璃上设置彩色滤光片,通过TFT上的信号与电压改变来控制液晶分子的转动方向,从而达到控制每个像素点偏振光出射与否而达到显示目的。传统液晶显示器,需要背光提供光源。传统的液晶显示器因其自身构造,就造就了其对比度、色彩饱和度、寿命等较差等问题,同时由于其需求背光提供光源,因此传统液晶显示器薄型化方面也受限。本发明一种实现垂直结构mLEDuLED Display巨量转移的方法,能够实现mLED/uLEDDisplay,此显示器为自发光型,也就是将LED结构设计进行薄膜化、及阵列化后,巨量转移到电路基板上,形成小间距的LED。同时它还能够实现每个像素单独定址、单独驱动发光(自发光)。
发明内容
本发明的目的在于提供一种实现垂直结构mLED或uLED巨量转移的方法,能够实现垂直芯片 uLED巨量转移。
为实现上述目的,本发明的技术方案是:一种实现垂直结构mLED或uLED巨量转移的方法,首先,将磁性材料喷涂于LED的正电极面;而后,将磁性材料喷涂于接收基板上;再而,结合网板与磁性材料控制电路,将LED贴附于接收基板上,并使LED与接收基板贴附导通;最后,将共阴极基板与接收基板进行压合;该方法具体实现步骤如下:
步骤S1、LED预处理:
(1.1)在LED衬底上的LED正电极面喷涂上磁性材料;
(1.2)将LED切割成pcs形态;
步骤S2、接收基板预处理:
(2.1)在接收基板上喷涂磁性材料,且磁性材料的磁性由磁性材料控制线路控制;
(2.2)将非RGB区域的磁性材料去除;
(2.3)在已喷涂磁性材料的接收基板上贴附ACF;
步骤S3、共阴极基板预处理:
(3.1)在共阴极基板可视区范围内布上阴极走线,而后在阴极走线上方贴附ACF;
步骤S4、LED转移:
(4.1)采用真空吸附将预处理的接收基板吸附于一机台上;
(4.2)根据需转移的LED类型在机台上面设置与该LED类型相对应的网板;
(4.3)将需转移的LED类型的LED置于网板上;接通接收基板上与该LED类型相对应位置的磁性材料控制线路,使得接收基板上与该LED类型相对应位置具有磁性,同时震动网板,使得该LED类型的LED具有磁性的一侧吸附于接收基板上与该LED类型相对应位置;
(4.4)将接收基板进行加热,同时施加压力,使该LED类型的LED与接收基板贴附导通;
(4.5)重复步骤(4.2)-(4.4),进行其他LED类型的LED的转移;
(4.6)待所有LED类型的LED转移完成后,将共阴极基板与接收基板进行压合。
在本发明一实施例中,所述步骤(2.1)之前还需在接收基板上按需设计LED回路。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造