[发明专利]一种产生螺旋流的微通道热沉有效
| 申请号： | 201810995348.7 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN109346445B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 王瑞金;李龙;刘湘琪;朱泽飞 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;H01L23/467 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 产生 螺旋 通道 | ||
【权利要求书】：
1.一种产生螺旋流的微通道热沉，包括硅基底板、热沉和盖板，其特征在于，所述硅基底板、热沉和盖板依次键合，硅基底板下方是热源，所述热沉由上基板和下基板键合而成，所述上基板上设有分流槽、合流槽和微通道，微通道侧壁上刻蚀出凹槽；所述下基板上刻蚀出斜槽，与微通道侧壁上凹槽连通；所述盖板上设有进口和出口，冷却工质从进口导入，通过分流槽分流进入微通道后，经合流槽合流，从出口导出。
2.根据权利要求1所述的一种产生螺旋流的微通道热沉，其特征在于，所述微通道侧壁上的凹槽呈周期性分布，所述下基板上的斜槽呈周期性分布，两者对应位置互相连通，形成周期性分布的通道。
3.根据权利要求1或2所述的一种产生螺旋流的微通道热沉，其特征在于，所述盖板设置有一个或若干个进口。
4.根据权利要求1或2所述的一种产生螺旋流的微通道热沉，其特征在于，所述盖板设置有一个或若干个出口。
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