[发明专利]非制冷红外偏振探测器像元结构及制备方法有效
| 申请号： | 201810996239.7 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN109253803B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 张连东;李煜;赵永强;潘泉 | 申请（专利权）人： | 北方广微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J4/00 | 分类号： | G01J4/00 |
| 代理公司： | 北京展翅星辰知识产权代理有限公司 11693 | 代理人： | 王文生 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制冷 红外 偏振 探测器 结构 制备 方法 | ||
1.一种非制冷红外偏振探测器像元结构，其中，包括：
底层，所述底层包括读出电路基座以及设在所述读出电路基座上的第一金属电极层、金属反射层和第一介质保护层；
其中，所述第一介质保护层覆盖所述第一金属电极层和金属反射层，在所述第一介质保护层上设有电极通孔，以露出所述第一金属电极层；
所述读出电路基座中的读出电路与所述第一金属电极层电连接；
中间层，所述中间层包括第一支撑层、热敏层、第二介质保护层、第二金属电极层和第三介质保护层；
在所述第一介质保护层之上设有所述第一支撑层，所述第一支撑层上设有第一通孔，所述第一通孔终止于所述第一金属电极层，所述第一支撑层上设有所述热敏层，所述热敏层上设有所述第二介质保护层，所述第二介质保护层上设有第二通孔，所述第二通孔终止于所述热敏层，所述第二介质保护层上设有所述第二金属电极层，所述第二金属电极层包括设在所述第一通孔内的金属电极和设在所述第二通孔内的金属连线，所述第二金属电极层上设有所述第三介质保护层；
所述热敏层通过所述第二金属电极层与所述第一金属电极层电连接；
上层，所述上层包括设在所述第三介质保护层之上的第二支撑层以及设在所述第二支撑层上的光栅层，所述光栅层包括若干个依次排列的光栅，其中所述第二支撑层的支点与第一支撑层上的第一通孔中的金属电极对齐，使得光栅层产生的热量直接经由第二支撑层、第三介质保护层、第二金属电极层以及第一金属电极层传入读出电路基座，而不经过热敏层。
2.根据权利要求1所述的非制冷红外偏振探测器像元结构，其中，
所述光栅层的光栅周期为10～1500nm，填充因子为0.2～0.8。
3.根据权利要求1所述的非制冷红外偏振探测器像元结构，其中，
所述光栅为纯金属结构或多层复合结构。
4.根据权利要求1所述的非制冷红外偏振探测器像元结构，其中，
所述热敏层的材料为以下其中之一：氧化钒、氧化钛、氧化锌、非晶硅、锰钴镍氧和钇钡铜氧。
5.根据权利要求1所述的非制冷红外偏振探测器像元结构，其中，
所述第一介质保护层、所述第一支撑层、所述第二介质保护层、所述第三介质保护层以及所述第二支撑层的材料分别为以下其中之一：氮化硅、氧化硅和氮氧化硅。
6.根据权利要求1所述的非制冷红外偏振探测器像元结构，其中，
所述金属反射层的材料为铝硅铜或铝。
7.根据权利要求1所述的非制冷红外偏振探测器像元结构，其中，
所述第一金属电极层以及所述第二金属电极层的材料为以下其中之一：镍铬合金、钛和氮化钛。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北方广微科技有限公司，未经北方广微科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810996239.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
