[发明专利]一种高温高压氦气泄漏定量检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种氦气泄漏定量检测方法，其特征在于，使用氦气泄漏定量检测装置进行检测，所述氦气泄漏定量检测装置包括以下部件：

密封腔(M)；其内有电加热棒(8)、热电偶(7)、氦气充入管路(23)和待检密封设备(5)；

氦气源(1)，其通过所述氦气充入管路(23)与所述待检密封设备(5)连通连接；

真空泵(18)，通过真空管(20)与所述密封腔(M)连通连接；

氦质谱检漏仪(22)，通过真空管(20)与所述密封腔(M)连通连接；

所述真空管(20)上有第一真空阀(12)，所述第一真空阀(12)通过四通阀(15)与所述真空泵(18)及氦质谱检漏仪(22)连接，四通阀(15)的另两个阀口分别与真空规管(16)和标准漏孔(14)连接；

还包括如下部件：

保温罩(11)，包裹在所述密封腔(M)的外围；

温控箱(9)，分别与所述电加热棒(8)和热电偶(7)电连接；

所述氦气泄漏定量检测方法包括如下步骤：

①将所述待检密封设备(5)与所述氦气充入管路(23)连接，将密封腔(M)连接好，开启所述真空泵(18)使得所述密封腔(M)中的压强在1Pa以下，然后使用所述氦质谱检漏仪(22)采集系统本底信号值为I₀；

②使用所述氦质谱检漏仪(22)采集标准漏孔(14)泄漏信号值为I_s；

③向待检密封设备(5)中充入氦气使压强达到设定值；开启所述加热棒(8)加热使得温度达到设定值；

④在所述密封腔(M)内压强在1Pa以下，使用所述氦质谱检漏仪(22)采集待检密封设备(5)泄漏信号值为I；

⑤将步骤④得到的值I与步骤②得到值I_s进行比对，即得到待检密封设备(5)泄漏率；具体计算公式为：

其中，Q为待检密封设备泄漏率，Q_S为标准漏孔经过定量标定的泄漏率。

2.根据权利要求1所述的氦气泄漏定量检测方法，其特征在于，所述密封腔(M)为盲法兰(25)与外罩(10)通过盲法兰密封面(26)密封形成，所述电加热棒(8)、热电偶(7)、氦气充入管路(23)固定在所述盲法兰(25)上。

3.根据权利要求1所述的氦气泄漏定量检测方法，其特征在于，所述氦气源(1)与所述氦气充入管路(23)之间有减压阀(2)、充气阀(3)、压力泄放阀(4)和压力变送器(6)；所述氦气源(1)的压强为0-15MPa。

4.根据权利要求1所述的氦气泄漏定量检测方法，其特征在于，所述热电偶(7)位于热电偶套管(24)内。

5.根据权利要求1所述的氦气泄漏定量检测方法，其特征在于，所述真空泵(18)与四通阀(15)通过第二真空阀(17)连接，所述氦质谱检漏仪(22)与四通阀(15)通过检漏阀(19)连接；所述标准漏孔(14)与四通阀(15)通过标准漏孔阀(13)连接。