[发明专利]等离子体温度分布测量系统

权利要求书

1.一种等离子体温度分布测量系统，其特征在于，该系统包括：

等离子体发生模块，包括正电极及负电极、绝缘阻挡介质，所述正电极和所述负电极相对布置，所述正电极和所述负电极之间间隔有所述绝缘阻挡介质，所述绝缘阻挡介质形成为一侧具有开口的腔体，所述腔体的其他侧面中的至少一侧面用透红外封堵材料封堵；以及

红外测量模块，布置于与所述腔体的用所述透红外封堵材料封堵的一侧面间隔预定距离的位置，用于测量所述腔体中产生的等离子体的红外分布，从而测量所述等离子体的温度分布。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该系统还包括气源模块，所述气源模块以预定流量将特定组分的气体供给至所述腔体中。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述正电极和所述负电极均为中空状且被布置为同轴形式，并且所述正电极作为内电极，所述负电极作为外电极。

4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述正电极和所述负电极均为中空状且被布置为同轴形式，并且所述正电极作为内电极，所述负电极作为外电极，所述内电极具有沿周缘形成的通孔，所述气源模块与所述内电极连接，以将所述特定组分的气体供给至所述内电极中，所述特定组分的气体通过所述通孔进入所述腔体。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述通孔形成于所述内电极的远离所述腔体的开口侧的位置。

6.根据权利要求3-5中任一项所述的系统，其特征在于，所述绝缘阻挡介质形成为筒状，所述外电极布置于所述绝缘阻挡介质外侧，所述内电极布置于所述绝缘阻挡介质内部，所述透红外材料封堵所述绝缘阻挡介质的一端，所述外电极、所述内电极和所述绝缘阻挡介质布置为同轴形式。

7.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，所述绝缘阻挡介质形成为筒状，所述正电极和所述负电极形成于所述绝缘阻挡介质的外侧并相对地布置，所述透红外材料封堵所述绝缘阻挡介质的一端。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的系统，其特征在于，所述透红外材料为透红外玻璃。

9.根据权利要求1-5中任一项所述的系统，其特征在于，所述红线测量模块为红外热像仪。

10.根据权利要求1-5中任一项所述的系统，其特征在于，所述等离子体发生模块为同轴等离子体发生器。