[发明专利]一种真空镀膜设备的传输装置

说明书

本发明公开了一种真空镀膜设备的传输装置，包括顶板，所述顶板的上表面设有安装架，顶板的下表面边缘设有连接装置，连接装置的下端设有固定板，顶板的下表面中部设有固定轴，固定轴的侧面中部通过轴承与固定板转动连接，固定板的侧面上端设有齿环，顶板与齿环对应的侧面右端设有驱动装置，固定板的侧面下端设有均匀分布的矩形槽，矩形槽的内部设有固定架。该真空镀膜设备的传输装置，可以对多个镀件同时进行固定存放，并且可以对镀件的高度以及水平位置进行调节，还可以对镀膜后的镀件进行传输转移，便于多个镀件的快速镀膜操作，能够有效提高工作效率，还能够有效减少抽真空的次数，节约时间，使用方便。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种真空镀膜设备的传输装置。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜，普通的真空镀膜设备在真空镀膜时，需要先将镀件放在某一位置，然后抽取真空后进行镀膜操作，镀膜完成后需要将镀件取出，并重新放置镀件，然后重新抽取真空并进行镀膜操作，这种真空镀膜方式工作效率较低，而且由于需要频繁抽取真空，浪费时间。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种真空镀膜设备的传输装置，可以对多个镀件同时进行固定存放，并且可以对镀件的高度以及水平位置进行调节，还可以对镀膜后的镀件进行传输转移，便于多个镀件的快速镀膜操作，能够有效提高工作效率，还能够有效减少抽真空的次数，节约时间，使用方便，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种真空镀膜设备的传输装置，包括顶板，所述顶板的上表面设有安装架，所述顶板的下表面边缘设有连接装置，所述连接装置的下端设有固定板，所述顶板的下表面中部设有固定轴，所述固定轴的侧面中部通过轴承与固定板转动连接，所述固定板的侧面上端设有齿环，所述顶板与齿环对应的侧面右端设有驱动装置，所述固定板的侧面下端设有均匀分布的矩形槽，所述矩形槽的内部设有固定架，所述固定轴与固定架对应的侧面下端设有第一推动装置，所述固定架的支撑板上表面设有存放槽，且支撑板的上表面中部设有两根对称设置的支撑杆，所述支撑杆的上表面设有定位板，所述顶板与定位板对应的侧面左端设有第二推动装置。

作为本发明的一种优选技术方案，所述安装架包括安装板，所述安装板的侧面设有固定环，所述安装板的下表面设有第一电动伸缩杆，且安装板与电动伸缩杆的固定端连接，所述第一电动伸缩杆的伸缩端与顶板的上表面固定连接，且第一电动伸缩杆的输入端与外部开关组的输出端电连接。

作为本发明的一种优选技术方案，所述固定环和第一电动伸缩杆均有四个，且四个固定环在安装板的侧面均匀分布，且四个第一电动伸缩杆在安装板的下表面呈矩形分布。

作为本发明的一种优选技术方案，所述连接装置包括第一平面轴承，所述第一平面轴承的上表面与顶板的上表面边缘固定连接，且第一平面轴承的下表面设有连接杆，所述连接杆的下表面与第二平面轴承的上表面固定连接，第二平面轴承的下表面与固定板的上表面固定连接。

作为本发明的一种优选技术方案，所述连接杆至少有六根，且六根连接杆在第一平面轴承的下表面等弧度且呈环形分布。

作为本发明的一种优选技术方案，所述固定架有八个，且八个固定架在固定板的侧面下端等弧度且呈环形分布。

作为本发明的一种优选技术方案，所述固定架包括第一减震器，所述第一减震器与固定板固定连接，所述第一减震器远离固定板的一端设有竖板，所述竖板的下表面设有第二减震器，所述第二减震器的下表面设有支撑板。