[发明专利]一种悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波方法

权利要求书

1.一种悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波方法，其特征在于：是基于电磁波导模共振的太赫兹滤波原理，采用导模共振和悬空结构降低损耗技术实现高效窄带滤波。

2.一种悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波器件，其特征在于：

主要由基片、太赫兹谐振结构及悬空结构的支撑构成二维伞状阵列结构；其中，

所述的基片为高阻硅基片、聚甲基丙烯酸甲酯或者聚酰亚胺；

所述的图形化薄膜结构为高阻硅、聚甲基丙烯酸甲酯或者聚酰亚胺材料制成，形状选自：圆形、星形、正方形等几何图形，可以获得高的谐振品质因子；

所述的支撑结构为二氧化硅材料制成。

3.如权利要求2所述的一种悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波器件的生产方法，包括以下步骤：

1）在高阻硅基片上沉积二氧化硅层；

2）二氧化硅层溅射高阻硅形成高阻硅薄膜；

3）在高阻硅薄膜旋涂纳米压印光刻胶；

4）根据滤波器件设计要求制备纳米压印模版；

5）在纳米压印光刻胶上采用制备的纳米压印模版进行纳米压印压合工艺；

6）脱模版后获得的结构；

7）对高阻硅反应离子刻蚀后，去除压印光刻胶获得的结构；

8）对二氧化硅反应离子刻蚀后获得的结构；

9）对二氧化硅进行第二次侧向反应离子刻蚀后获得的悬空结构亚波长导模共振太赫兹高效窄带滤波器件。