[发明专利]一种多叠层式纳米压电器件在审
| 申请号： | 201810999915.6 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN109166959A | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 王二萍;张金平;张洋洋;孙彩霞;田凯 | 申请（专利权）人： | 黄河科技学院 |
| 主分类号： | H01L41/18 | 分类号： | H01L41/18;H01L41/083;H01L41/27 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 450000 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 复合材料薄膜 聚偏氟乙烯 锡酸锌 氧化锌纳米线阵列 压电器件 多叠层 栅电极 基层 结构稳定 压电性能 薄膜层 介质层 体积小 掺杂 | ||
1.一种多叠层式纳米压电器件，其特征在于，从下往上依次包括聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层I、氧化锌纳米线阵列I、掺杂ZnO纳米颗粒PVDF纤维薄膜层、氧化锌纳米线阵列II和聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层II；所述聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层I和聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层II的一侧分别连接有一ITO栅电极，所述ITO栅电极上设有high-k介质层。
2.如权利要求1所述的一种多叠层式纳米压电器件，其特征在于，所述聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层I和聚偏氟乙烯/锡酸锌复合材料薄膜基层II的厚度为1～5mm。
3.如权利要求1所述的一种多叠层式纳米压电器件，其特征在于，所述氧化锌纳米线阵列I和氧化锌纳米线阵列II的厚度为0.1～1mm。
4.如权利要求1所述的一种多叠层式纳米压电器件，其特征在于，所述high～k介质为Al2O3和HfO2中的一种。
5.如权利要求1所述的一种多叠层式纳米压电器件，其特征在于，所述掺杂ZnO纳米颗粒PVDF纤维薄膜层通过以下步骤制备所得：
将PVDF溶于丙酮和二甲基乙酰胺的混合溶液中，得到PVDF溶液；
将烘干后的ZnO纳米颗粒溶于丙酮和二甲基乙酰胺的混合溶液中后，在0.6MPa的压力下，与PVDF溶液在30～40℃的条件下混合搅拌均匀，得纺丝前驱体溶液；
利用静电纺丝设备将所述纺丝前驱体溶液制成厚度为0.01～0.05mm静电纺丝膜，烘干后，在110～120℃下加热2～3h，即得。
6.如权利要求5所述的一种多叠层式纳米压电器件，其特征在于，所述丙酮和所述二甲基乙酰胺的混合溶液中，丙酮和二甲基乙酰胺的体积比为5∶7；所述PVDF溶液的质量分数为22％～26％。
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