[发明专利]一种零排放的酸性蚀铜废液环保回收装置及其工艺

权利要求书

1.一种零排放的酸性蚀铜废液环保回收装置，其特征在于，包括：用于在线蚀刻的蚀刻机，以及沉淀罐、气动压滤机和调配罐，所述沉淀罐分别与所述蚀刻机和所述气动压滤机连接，所述气动压滤机与所述调配罐连接，所述调配罐与所述蚀刻机连接；

所述蚀刻机与所述沉淀罐之间设有蚀铜废液泵，所述沉淀罐与所述气动压滤机之间设有气动泵，所述气动压滤机与所述调配罐之间设有清液泵，所述调配罐与所述蚀刻机之间设有新生蚀刻液泵。

2.根据权利要求1所述的一种零排放的酸性蚀铜废液环保回收装置，其特征在于，所述沉淀罐和所述调配罐内设有搅拌器、气动装置和pH计，所述气动装置连接所述气动泵。

3.根据权利要求2所述的一种零排放的酸性蚀铜废液环保回收装置，其特征在于，所述气动装置为一末端封闭的环形管道，所述气动装置设置在所述沉淀罐和所述调配罐底部，所述气动装置上设有多个圆孔。

4.一种零排放的酸性蚀铜废液环保回收工艺，其特征在于，包括权利要求1至3任意一项所述的零排放的酸性蚀铜废液环保回收装置，以及以下步骤：

S1，回收所述蚀刻机流出的酸性蚀铜废液，并将酸性蚀铜废液抽至所述沉淀罐内；

S2，在所述搅拌器和所述气动装置的作用下，往所述沉淀罐内加入氨类助剂来调节其pH值，得到含有碱式氯化铜沉淀的溶液一；

S3，将所述沉淀罐内的溶液一由气动泵压入到气压压滤机内，过滤后得到清液以及泥状的碱式氯化铜沉淀，将清液输送到所述调配罐；

S4，在所述搅拌器和所述气动装置的作用下，往调配罐里加入酸类助剂和补充剂来调节其pH值和氯离子含量，形成酸性蚀刻液补充到蚀刻机内。

5.根据权利要求4所述的一种零排放的酸性蚀铜废液环保回收工艺，其特征在于，步骤S2中，所述氨类助剂为氨水和氨气的一种，所述pH值的调节范围为5～7。

6.根据权利要求4所述的一种零排放的酸性蚀铜废液环保回收工艺，其特征在于，步骤S4中，所述酸类助剂为可提供氢离子的无机酸，所述pH值的调节范围为9～10，所述补充剂为氯化铵或和盐酸，所述氯离子含量为140～180g/L。