[发明专利]6英寸图形化蓝宝石衬底及制备方法和LED外延片

权利要求书

1.一种6英寸图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，包括：

提供蓝宝石衬底；

在蓝宝石衬底的表面涂覆一层光刻胶，所述光刻胶的厚度为1μm≤D0≤3μm；

对涂覆有所述光刻胶的蓝宝石衬底进行曝光、显影，形成图案化掩膜层，所述图案化掩膜层包括由分割道隔开的多个柱状光阻；

将带有图案化掩膜层的蓝宝石衬底送入刻蚀机台反应腔体，使用三氯化硼、三氟甲烷和氧气对所述图案化掩膜层进行干法刻蚀，在所述蓝宝石衬底表面形成图案化结构，形成图案化蓝宝石衬底，所述图案化结构包括多个U型凹槽和多个三角锥状凸起结构，所述U型凹槽将所述三角锥状凸起结构分割为多个独立的图块单元，各所述图块单元内中分别包括多个所述三角锥状凸起结构；其中，所述反应腔体中的上射频功率为1000W≤W1≤1700W，下射频功率为300W≤W2≤800W，反应腔体压力为1MT≤P≤4MT，气体流量为20％≤K≤90％。

2.根据权利要求1所述的6英寸图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，在将带有图案化掩膜层的蓝宝石衬底送入刻蚀机台反应腔体，使用三氯化硼、三氟甲烷和氧气对所述图案化掩膜层进行干法刻蚀之后，还包括：将所述图案化蓝宝石衬底进行清洗。

3.根据权利要求1所述的6英寸图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述柱状光阻的直径为1.8μm≤D1≤2.3μm；所述分割道的宽度为0.5μm≤D2≤3μm。

4.根据权利要求1所述的6英寸图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述U型凹槽的深度为1.5μm≤D3≤3μm，所述U型凹槽的宽度为2μm≤D4≤5μm。

5.根据权利要求1所述的6英寸图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，所述三角锥状凸起结构的截面最大宽度为2.5μm≤D5≤2.9μm，所述三角锥状凸起结构的高度为1.5μm≤D6≤1.9μm。

6.一种通过权利要求1至5之任一所述的6英寸图形化蓝宝石衬底的制备方法制备的6英寸图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述图形化蓝宝石衬底包括：

蓝宝石衬底；

位于所述蓝宝石衬底表面的图案化结构，所述图案化结构包括多个U型凹槽和多个三角锥状凸起结构，所述U型凹槽将所述三角锥状凸起结构分割为多个独立的图块单元，各所述图块单元内中分别包括多个所述三角锥状凸起结构；所述图形化结构是通过对位于所述蓝宝石衬底表面的图案化掩膜层进行干法刻蚀得到的，所述图案化掩膜层包括由分割道隔开的多个柱状光阻。

7.根据权利要求6所述的6英寸图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述U型凹槽的深度为1.5μm≤D3≤3μm，所述U型凹槽的宽度为2μm≤D4≤5μm。

8.根据权利要求6所述的6英寸图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述三角锥状凸起结构的截面最大宽度为2.5μm≤D5≤2.9μm，所述三角锥状凸起结构的高度为1.5μm≤D6≤1.9μm。

9.一种LED外延片，其特征在于，包括6英寸图形化蓝宝石衬底，所述图形化蓝宝石衬底为权利要求6至8之任一所述的6英寸图形化蓝宝石衬底。