[发明专利]具有导电和氧化稳定性涂层的石墨片的制造方法在审
申请号: | 201811003116.5 | 申请日: | 2018-08-30 |
公开(公告)号: | CN108715557A | 公开(公告)日: | 2018-10-30 |
发明(设计)人: | 朱全红;施立毛 | 申请(专利权)人: | 东莞市鸿亿导热材料有限公司 |
主分类号: | C04B41/89 | 分类号: | C04B41/89 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 潘俊达 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨片 碳化硼涂层 氧化稳定性 喷镀 导电性 石墨基片 科琴黑 导电 熔点 致密 等离子法 高导电性 使用寿命 受热 抗氧性 气密性 热应力 制造 | ||
1.一种具有导电和氧化稳定性涂层的石墨片的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1)、取一石墨基片,对其表面进行喷砂处理;
步骤2)、将经过喷砂处理的石墨基片放进装有等离子体装置的真空处理室中,并将该室抽真空至压力大小为10-3~10-4mPa;
步骤3)、将粒径大小在40~100μm范围的科琴黑粉末,在真空下进行脱气和干燥;
步骤4)、将粒径大小在1~50μm范围的碳化硼粉末,在真空下进行脱气和干燥;
步骤5)、在真空处理室内,在50~250mPa的压力调节范围中,用等离子体装置中的等离子流,将步骤3)的科琴黑粉末喷镀到石墨基片的表面,并使科琴黑涂层厚度至少为0.1mm;
步骤6)、在真空处理室内,在100~300mPa的压力调节范围中,用等离子体装置中的等离子流,将步骤4)的碳化硼粉末喷镀到步骤5)处理后的科琴黑涂层的表面以形成致密的碳化硼涂层,并使碳化硼涂层厚度至少为0.2mm;
步骤7)、从真空处理室中取出步骤6)得到的石墨片,而且在隔绝反应气体的情况下进一步冷却石墨片。
2.根据权利要求1所述的具有导电和氧化稳定性涂层的石墨片的制造方法,其特征在于:步骤4)中的碳化硼粉末的粒径小于步骤3)中的科琴黑粉末的粒径。
3.根据权利要求1所述的具有导电和氧化稳定性涂层的石墨片的制造方法,其特征在于:步骤3)中,所述科琴黑粉末的粒径大小为70~90μm。
4.根据权利要求1所述的具有导电和氧化稳定性涂层的石墨片的制造方法,其特征在于:步骤4)中,所述碳化硼粉末的粒径大小为5~25μm。
5.根据权利要求1所述的具有导电和氧化稳定性涂层的石墨片的制造方法,其特征在于:步骤5)中,在喷镀科琴黑粉末前,使石墨基片在600~800℃的真空环境下进行加热处理。
6.根据权利要求1所述的具有导电和氧化稳定性涂层的石墨片的制造方法,其特征在于:步骤5)中,所述科琴黑涂层厚度为0.2~1mm。
7.根据权利要求1所述的具有导电和氧化稳定性涂层的石墨片的制造方法,其特征在于:步骤6)中,所述碳化硼涂层厚度为0.2~1mm。
8.根据权利要求1所述的具有导电和氧化稳定性涂层的石墨片的制造方法,其特征在于:步骤1)中,所述喷砂处理是用电金刚砂粉和/或钢砂进行处理的。
9.根据权利要求1所述的具有导电和氧化稳定性涂层的石墨片的制造方法,其特征在于:步骤7)中,所述石墨片的取出和进一步冷却是在惰性气体下进行的。
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