[发明专利]一种喷淋式高频超声波清洗装置在审
申请号: | 201811003484.X | 申请日: | 2018-08-30 |
公开(公告)号: | CN109013544A | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 咸威 | 申请(专利权)人: | 咸威 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/02 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 101111 北京市通*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 前壳体 台肩 高频超声波 清洗装置 喷淋式 环形容纳腔 第二流道 第一流道 压电振子 喷嘴 后筒体 内锥孔 外扩式 外凸式 锥斜面 锥台 连通 清洗 半导体行业 内部构造 清洗设备 清洗效率 外侧斜面 侧端面 精密件 上端面 无死角 下表面 下端面 进液 空化 精密 | ||
1.一种喷淋式高频超声波清洗装置,其特征在于,包括:
前壳体,在所述前壳体的内部构造有供清洗液喷出的喷嘴内锥孔,在所述前壳体的后端构造有朝外侧凸出的外凸式锥台;
后筒体,在所述后筒体内部的前端构造有朝所述后筒体的中心轴线方向凸出的台肩,其中,所述台肩的下端面构造成外扩式锥斜面,所述前壳体的后端插入到所述后筒体的前端的内部,从而构造出环形容纳腔,在所述前壳体对应所述环形容纳腔的部位构造有进液端口,所述外凸式锥台的外侧斜面与所述台肩的外扩式锥斜面共同构造成供清洗液流出的第一流道,所述第一流道与所述环形容纳腔连通;以及
压电振子,所述压电振子设置在所述台肩的上端面,其中,所述压电振子的下表面与所述前壳体的后端的侧端面之间构造有供清洗液流出的第二流道,所述第二流道分别与所述第一流道以及所述喷嘴内锥孔连通。
2.根据权利要求1所述的喷淋式高频超声波清洗装置,其特征在于,所述进液端口的孔径大于所述第一流道的内孔径。
3.根据权利要求1所述的喷淋式高频超声波清洗装置,其特征在于,所述压电振子的外径大于所述台肩的内孔径,并且,所述台肩的内孔径大于所述喷嘴内锥孔的进液端的内孔径。
4.根据权利要求1所述的喷淋式高频超声波清洗装置,其特征在于,所述喷淋式高频超声波清洗装置还包括线路转接板,所述线路转接板沿所述后筒体的轴向设置在所述后筒体的内部,其中,所述线路转接板与所述压电振子沿轴向呈间隔式设置。
5.根据权利要求4所述的喷淋式高频超声波清洗装置,其特征在于,在所述压电振子和所述线路转接板之间安装有绝缘部件。
6.根据权利要求5所述的喷淋式高频超声波清洗装置,其特征在于,所述绝缘部件包括阻隔板,所述阻隔板包括圆环板和从所述圆环板的孔边朝压电振子的方向延伸出的筒体,其中,所述圆环板与所述线路转接板紧密接触,所述筒体朝向所述压电振子的侧端面并与所述压电振子之间构造有间隙。
7.根据权利要求6所述的喷淋式高频超声波清洗装置,其特征在于,在所述筒体的外围套设有密封部件,其中,所述密封部件的壁厚大于所述筒体的轴向长度。
8.根据权利要求4所述的喷淋式高频超声波清洗装置,其特征在于,在所述后筒体的内表面上构造有环形凹槽,所述环形凹槽位于所述线路转接板的外侧,在所述环形凹槽内嵌设有卡簧。
9.根据权利要求4所述的喷淋式高频超声波清洗装置,其特征在于,所述喷淋式高频超声波清洗装置还包括后端盖,所述后端盖扣合在所述后筒体的后端。
10.根据权利要求9所述的喷淋式高频超声波清洗装置,其特征在于,所述喷淋式高频超声波清洗装置还包括电缆和与所述后端盖固定连接的电缆固定头,所述电缆依次穿过所述电缆固定头和所述后端盖后固定在所述线路转接板上,所述压电振子通过引线与所述线路转接板固定连接。
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