[发明专利]一种半导体存储器老化测试系统及方法

权利要求书

1.一种半导体存储器老化测试系统，其特征在于，包括测试核心板和测试板；

所述测试核心板上具有分块设置的存储区；测试核心板用于根据上位机指令生成测试信号和电源信号提供给被测器件，并将被测器件的输出信号与预设值进行比较得到被测器件的失效结果，将所述失效结果分别存储到对应的存储区以对单个被测器件的老化测试过程进行控制、对测试数据进行分析；并将所述失效结果发送到上位机；

所述测试板用于承载被测器件，为被测器件提供时钟信号和片选信号，单块测试板设置有至少一个测试位，供单颗被测器件进行老化测试或多颗被测器件同时进行老化测试。

2.如权利要求1所述的半导体存储器老化测试系统，其特征在于，还包括上位机和交换机；

所述上位机用于通过所搭载的测试软件分配测试资源、编辑测试流程、分析测试结果；

所述交换机提供用于连接上位机与测试核心板的端口，每块测试核心板对应一个端口，通过交换机将上位机指令下发到测试核心板，并将测试结果从测试核心板上传到上位机；每块测试核心板均连接到交换机，各测试核心板独立地与上位机进行通信。

3.如权利要求1或2所述的半导体存储器老化测试系统，其特征在于，所述测试核心板根据控制信息对测试信号进行延时调整、加强驱动后输出给被测器件的IO管脚；并根据控制信号和传输衰减对电源信号进行补偿后输出给被测器件的电源管脚，使被测器件进入老化测试状态。

4.如权利要求1或2所述的半导体存储器老化测试系统，其特征在于，存储区包括引脚缓冲存储区、坏块存储区、数据失效存储区和/或数据缓冲存储区；失效结果包括坏块、失效数据、失效地址和/或失效电压电流。

5.如权利要求1或2所述的半导体存储器老化测试系统，其特征在于，还包括第一背板、第二背板；所述第一背板具有多个测试核心板槽位，第二背板具有多个测试板槽位；所述测试板上设置有至少一个被测器件测试位；通过第一背板和第二背板实现测试信号和电源信号在测试核心板与测试板之间的传输。

6.如权利要求5所述的半导体存储器老化测试系统，其特征在于，所述测试板上的被测器件测试位形成阵列，同一行的测试位共享时钟信号，同一列的测试位共享片选信号。

7.如权利要求1或2所述的半导体存储器老化测试系统，其特征在于，所述测试板放置被测器件的正面设置有整块散热板，所述散热板对应被测器件处挖空，使得整块散热板紧贴测试板固定，让被测器件露出在外部。

8.一种基于权利要求1～7任一项所述的老化测试系统的半导体存储器老化测试方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)测试核心板根据上位机下发的指令生成测试指令和控制信息；

(2)测试核心板根据控制信息对测试指令进行译码，生成测试向量、时序、波形，输出测试信号；

(3)测试核心板对测试板上的被测器件施加测试信号和电源，开始老化测试；

(4)测试核心板采集被测器件IO管脚上的电压电流并与预设的标准进行对比，根据比对结果输出高低电平信号；采集被测器件电源管脚上的电压电流；

(5)测试核心板判断所述电平信号、电源管脚的电压电流值是否与设置值一致，若是则进入步骤(6)；否则判定被测器件失效，将被测器件的失效信息分别保存到片外相对应的存储区；

(6)判断是否测试板上所有被测器件完成了老化测试，若是则进入步骤(7)，若否则进入步骤(4)；

(7)测试核心板对测试数据进行失效分析，按照预设的协议将失效分析结果打包上传给上位机；

(8)由上位机根据测试要求对当前测试板上所有被测器件的数据进行分析，输出老化测试结果，和/或对失效被测器件进行标识分类，上传到外部生产管理系统。