[发明专利]光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置

说明书

本发明公开了一种光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置，包括：检测平台、设置在所述检测平台上的气浮转台、设置于所述气浮转台上的四维调整架、波像差测量模块、OCT测量模块及镜面偏心测量模块。本发明实现了偏心、间距与波像差三个测量模块融合于一个测试平台，实现了单套设备完成光学镜头装调检测过程中偏心、间隔、波前像差的一体化测试，单次对光轴就可以完成相关测量，避免了移动被测镜头，进而反复多次找系统光轴带来的误差；本发明实现了从传统的分步检测到在线综合检测的跨越，降低了设备成本，减少了累计误差，提高了检测效率和精度。

技术领域

本发明涉及光学测量领域，特别涉及一种光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置。

背景技术

传统的光学镜头的装调流程是，在镜片加工完成后，就进入镜头分步式的装配检测流程，首先需要定心仪引导调整镜片偏心，使其与理论光轴重合，然后将镜片移出定心仪的载物台，用间距测量仪器，控制镜片之间的空气间隔，如此往复；最后用像质评价的仪器，进行整个镜头的像质测量。但是，由于需要三台设备，所以三者之间是分布离线测量的，不仅检测效率低下，而且还引入累计误差，带来球差、色差、离焦、倍率变化、视场偏移等，降低成像质量。因此，本发明集成三种检测方法，开发一种光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置。

专利“镜头中光学表面中心间距的非接触式测量方法及测量装置”，其仅能实现镜头的光学表面中心间距的非接触式测量，不能测量偏心和波前像差。论文“基于哈特曼-夏克传感器的波前检测方法研究”，仅能实现镜头的波前像差检测。论文“基于镜面间隔和中心偏差测量的光学镜头辅助装调设备的研究”，不能实现波前像差的测量。

这些装置都只能实现其中部分功能的测量。在多个不同的平台上分别测量光学镜头的中心偏差、镜面间隔和波前像差存在以下缺点，第一，被测镜头从一个测量平台移动到另一个测量平台，每次都必须重新调整机械支撑平台，从而降低光学镜头装调效率；第二，在测量过程中，使用不同的基准轴，会降低光学镜头装调精度；第三，测量设备中，存在相同的功能模块，分开测量，增加了硬件成本。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置，包括：检测平台、设置在所述检测平台上的气浮转台、设置于所述气浮转台上的四维调整架、波像差测量模块、OCT测量模块及可上下移动设置于所述四维调整架上方的镜面偏心测量模块；

其中，所述OCT测量模块中的OCT测量整合组件与所述波像差测量模块一体化整合设置于所述检测平台的下方；

其中，所述波像差测量模块与OCT测量整合组件通过汇聚镜实现测量光束合束。

优选的是，所述检测平台上设置有立柱，所述立柱上设置有用于带动所述镜面偏心测量模块上下移动的高精度电动平移台。

优选的是，所述高精度电动平移台上设置有偏心测量模块安装架，所述偏心测量模块安装架上还设置有转轮；所述转轮上设置有波像差反射镜和多个偏心测量物镜。

优选的是，所述OCT测量整合组件和所述波像差测量模块通过安装盒一体化设置在所述检测平台的下方，所述汇聚镜通过汇聚镜安装架设置于所述安装盒内，所述汇聚镜下方还设置有OCT整合反射镜。

优选的是，所述OCT测量整合组件包括设置在所述汇聚镜一侧的入射镜筒及设置在所述入射镜筒上的镜筒调节装置，所述OCT测量整合组件的测量光经入射镜筒入射到所述OCT整合反射镜上，经OCT整合反射镜反射后再透射所述汇聚镜，照射到处于所述四维调整架上的待检测的镜头上。