[发明专利]静电吸盘装置、掩模安装装置、成膜装置、成膜方法及电子设备的制造方法

说明书

本发明的静电吸盘装置包含静电吸盘板部和供电端子部，所述静电吸盘板部包含第一面和第二面，该第一面朝向用于通过来自磁力产生部的磁力使掩模附着于基板的成膜面上的磁力施加机构，该第二面与所述第一面相对，用于保持基板的成膜面的相反侧的面，所述供电端子部用于向所述静电吸盘板部供给电源，所述供电端子部设置于所述磁力施加机构的配置有所述磁力产生部的区域的外侧。

技术领域

本发明涉及一种成膜装置及成膜方法，具体而言，涉及一种在成膜装置中，用于向通过静电引力保持基板的静电吸盘板部供给电压的供电端子部的结构。

背景技术

最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置受到关注。有机EL显示装置是自发光显示器，响应速度、视角、薄型化等特性优于液晶面板显示器，在监视器、电视、以智能手机为代表的各种便携式终端等中以较快的速度代替现有的液晶面板显示器。另外，其应用领域正在扩展到汽车用显示器等中。

有机EL显示装置的元件具有在两个相对的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物层的基本构造。有机EL显示器元件的有机物层及电极金属层是在真空腔室内，经由形成有像素图案的掩模使蒸镀物质蒸镀到基板制造的。

在这样的成膜工序中，为了将掩模上的像素图案高精度地转印到基板，在向基板进行蒸镀之前，必须精密调整掩模和基板的相对位置，并使掩模紧贴于基板的成膜面。

为了使掩模紧贴于基板的成膜面，使用磁铁板从基板的上部对基板的下部的金属制掩模施加磁力。即，在以往的技术中，在将调整(对准)了相对位置的基板载置于掩模的上表面的状态下，使磁铁板抵接于基板的上表面，由此，通过磁铁板的磁铁对金属制的掩模施加的磁力使基板与掩模紧贴。

发明内容

[本发明要解决的课题]

最近，为了防止因基板的自重引起的挠曲，讨论了利用静电吸盘的静电引力保持基板的上表面的方法。静电吸盘利用静电引力吸附基板的上表面，因此设置于基板的上表面的正上方。

因此，在使用静电吸盘来保持基板并通过磁铁板使这样的基板和掩模紧贴的结构的成膜装置中，静电吸盘在磁铁板下方保持基板。在以往的技术中，为了向配置于磁铁板的下方的静电吸盘供给电源，来自成膜装置的外部的供电线设置为贯通磁铁板，并到达配置于磁铁板的下部的静电吸盘。

即，如图7所示，在磁铁板724的配置有磁铁725的区域内，除了磁铁725以外，还设置有用于向静电吸盘723供给电源的供电端子731。由此，在磁铁板724的配置有磁铁725的区域内，一起配置有供电端子731，存在未配置磁铁725的局部区域。

其结果是，在未配置磁铁725的局部区域的周围磁力变弱，在磁铁板724的配置有磁铁725的整体区域中，对掩模的磁力变得不均匀，基板与掩模的紧贴性下降，成膜精度下降。

本发明的主要目的在于，提供一种具有如下结构的静电吸盘装置、掩模安装装置、包含该装置的成膜装置、使用该成膜装置的成膜方法及电子设备的制造方法，所述结构在使用静电吸盘保持基板并使用磁力施加机构使基板与掩模紧贴的结构的成膜装置中，能够降低对磁力施加机构产生磁力的均匀度的影响同时也能够向静电吸盘供给电源。

[解决问题的手段]

本发明的第一方式的静电吸盘装置包含静电吸盘板部和供电端子部，所述静电吸盘板部包含第一面和第二面，所述第一面朝向磁力施加机构，该磁力施加机构用于使掩模通过来自磁力产生部的磁力而吸附于基板的成膜面上，所述第二面与所述第一面相对，用于保持基板的成膜面的相反侧的面，所述供电端子部用于向所述静电吸盘板部供给电源，所述供电端子部设置于所述磁力施加机构的配置有所述磁力产生部的区域的外侧。