[发明专利]一种防潮高透明度的类金刚石涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201811008088.6 | 申请日： | 2018-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109097735A | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳潇;欧阳晓平;左帅;罗军;张旭;吴先映;韩然 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/58;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积 高透明度 磁过滤 核探测 防潮 潮解 面型 制备 等离子体 阴极 致密 类金刚石涂层 可见光 低能气体 高透光率 核探测器 基体表面 晶体表面 类金刚石 纳米结构 气体混合 使用环境 高致密 晶体的 离子源 透光率 无定形 增透层 重金属 刻蚀 碳靶 清洗 延伸 | ||
1.一种防潮高透明度的类金刚石涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
1S：利用重金属和气体混合等离子体对基体表面进行高低能交替清洗；
2S：以碳靶为阴极，利用双T异面型磁过滤沉积方法在基体上进行高致密DLC涂层的沉积；
3S：利用低能气体离子源对DLC进行纳米结构刻蚀形成3-5nm的无定形增透层。
2.如权利要求1一种防潮高透明度的类金刚石涂层的制备方法，其特征在于，预先基体清洗是采用金属和气体的混合等离子体进行高低能交替清洗；清洗时利用90度磁过滤弯管，以重金属为阴极，如Ni，Ag，Ta等；起弧电流为90-110A，线包磁场电流为2.0-3.0A，通入气体为Ar气，真空室压强2.0×10-2-1.0×10-1Pa，束流强度800-1500mA，负偏压300-1200V；溅射清洗时基体表面无金属原子沉积，金属离子参与表面清洗以及电离Ar原子形成Ar离子束。
3.如权利要求1一种防潮高透明度的类金刚石涂层的制备方法，其特征在于，所述双T异面型磁过滤沉积方法为：
两个T型磁过滤管道中心线不在同一平面内；
使所述碳靶产生的碳离子依次穿过第一强脉冲线包和双T型磁过滤管道。
4.如权利要求3双T异面型磁过滤沉积方法，其特征在于：
设置所述第一强脉冲线包的频率为0.1～200Hz，电流为0.1～50A。
5.如权利要求3双T型磁过滤管道，其特征在于，在T型磁过滤弯管上依次设置有第二强脉冲线包、中间线包、正偏压网格；
设置第二强脉冲线包的频率为20～80Hz，电流为0.1～20A；
中间线包为直流线包，设置其电流设置为0.1～5A；
设置正偏压网格的电压为100～400V。
6.如权利要求1一种防潮高透明度的类金刚石涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤2S中，在进行所述沉积时，设置起弧电流为50～100A，真空度小于2.0×10-3Pa，沉积厚度1-20nm，负压为100-400V。
7.如权利要求1一种防潮高透明度的类金刚石涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤3S中，所述气体离子源为阳极层离子源，所述阳极层离子源能量为1～1000eV，束流强度0.1～100mA，刻蚀角度为低角度1-20度。
8.一种利用如权利要求1～7任一项所述的一种防潮高透明度的类金刚石涂层的制备方法在基体表面沉积防潮高透明度DLC涂层。
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