[发明专利]掩膜装置及太阳能电池的制备方法

权利要求书

1.一种掩膜装置(100)，其特征在于，包括：

第一掩膜片(10)，具有至少一个第一掩膜图形(11)；

第二掩膜片(20)，具有至少一个第二掩膜图形(21)，所述至少一个第一掩膜图形(11)中的每一个第一掩膜图形(11)和所述至少一个第二掩膜图形(21)中的每一个第二掩膜图形(21)的形状相同；以及

开合结构(30)，分别与所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)活动连接，用以调节所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)之间的夹角，以使得所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)闭合时，所述至少一个第一掩膜图形(11)和所述至少一个第二掩膜图形(21)重合。

2.如权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述开合结构(30)与所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)的可转动连接，所述开合结构(30)使得所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)实现0°-180°的转动。

3.如权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述开合结构(30)为合页，所述合页包括两片合页扇、转轴和轴套，所述两片合页扇分别与所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)可转动连接，所述转轴和所述轴套实现所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)的铰接。

4.如权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述开合结构(30)在连接所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)方向上的长度为1厘米-10厘米。

5.如权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，

所述第一掩膜片(10)设置有第一定位结构(12)；

所述第二掩膜片(20)设置有第二定位结构(22)；

当所述第一定位结构(12)和所述第二定位结构(22)配合固定时，所述至少一个第一掩膜图形(11)和所述至少一个第二掩膜图形(21)重合。

6.如权利要求5所述的掩膜装置，其特征在于，所述第一定位结构(12)为凸起，所述第二定位结构(22)为凹槽，当所述第一掩膜片(10)与所述第二掩膜片(20)重合时，所述凸起卡合在所述凹槽中。

7.如权利要求5所述的掩膜装置，其特征在于，所述第一定位结构(12)为开孔，所述第二定位结构(22)为挂锁孔，当所述第一掩膜片(10)与所述第二掩膜片(20)重合时，所述挂锁孔穿过所述开孔，在所述挂锁孔处挂锁以固定所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)。

8.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供衬底(101)，并将所述衬底(101)夹设于掩膜装置(100)中；其中，所述掩膜装置(100)包括：第一掩膜片(10)、第二掩膜片(20)和开合结构(30)，所述第一掩膜片(10)具有至少一个第一掩膜图形(11)，所述第二掩膜片(20)具有至少一个第二掩膜图形(21)，所述至少一个第一掩膜图形(11)中的每一个第一掩膜图形(11)和所述至少一个第二掩膜图形(21)中的每一个第二掩膜图形(21)的形状相同当所述第一掩膜片(10)和所述第二掩膜片(20)夹设所述衬底(101)之后，每一个所述第一掩膜图形(11)与一个所述第二掩膜图形(21)重合，所述衬底(101)具有与所述第一掩膜片(10)直接接触的第一表面和与所述第二掩膜片(20)直接接触的第二表面；

在所述第一表面和所述第二表面分别沉积第一本征层(201)和第二本征层(202)；

在所述第一本征层(201)和所述第二本征层(202)的表面分别沉积第一掺杂层(203)和第二掺杂层(204)；

在所述第一掺杂层(203)和所述第二掺杂层(204)的表面分别沉积第一透明导电层(301)和第二透明导电层(302)；

在所述第一透明导电层(301)和所述第二透明导电层(302)的表面分别第一导电电极(401)和第二导电电极(402)。