[发明专利]在线白光干涉测厚仪

权利要求书

1.在线白光干涉测厚仪，其特征在于：包括框架、伺服驱动系统、探头系统和电控系统，所述的伺服驱动系统横向安装在所述框架上部，所述伺服驱动系统上设有探头座，所述探头系统安装在探头座下方，所述的探头系统包括光源系统、光谱仪、光漏型集光器和冷却系统，所述光漏型集光器可在被测薄膜不平整或薄膜有振动的情况下将反射光线收集到所述光谱仪中。

2.根据权利要求1所述的在线白光干涉测厚仪，其特征在于：所述框架采用超硬铝型材制作。

3.根据权利要求1所述的在线白光干涉测厚仪，其特征在于：所述伺服驱动系统包括预压导轨、预压丝杆和伺服电机，所述预压导轨和预压高精度丝杆均横向安装在所述框架上部，所述伺服电机输出轴设有联轴装置，所述预压丝杆通过联轴装置与伺服电机连接，所述探头座滑动安装在预压导轨上，所述探头座可在预压丝杆的驱动下横向运动。

4.根据权利要求1所述的在线白光干涉测厚仪，其特征在于：所述电控系统采用EtherCAT通讯网络与USB2.0通讯网络进行实时通讯以保证各部件正常运行及数据可靠传输，所述电控系统的现场位置值与逻辑控制采用EtherCAT通信以提高数据采集频率和测量分辨率，电控系统的光学参数通信采用USB2.0通信网络。

5.根据权利要求1所述的在线白光干涉测厚仪，其特征在于：所述电控系统上设有外部软件接口和硬件接口，电控系统可通过外部软件接口和硬件接口而与第三方设备形成集生产、测量、控制三位一体的无人值守全自动厚度生产系统。

6.根据权利要求1所述的在线白光干涉测厚仪，其特征在于：所述电控系统中的测量厚度算法采用快速傅里叶分析与希尔伯特分析相结合的方式。

7.根据权利要求1所述的在线白光干涉测厚仪，其特征在于：所述电控系统中设有人机交互界面，所述人机交互界面可通过与第三方设备的交互而实现自动控制功能。

8.根据权利要求1所述的在线白光干涉测厚仪，其特征在于：所述电控系统可以与上位机连接而实现远程实时监控测量。

9.根据权利要求1所述的在线白光干涉测厚仪，其特征在于：所述光源系统采用宽光谱的卤素光源或白光LED光源。

10.根据权利要求1所述的在线白光干涉测厚仪，其特征在于：所述冷却系统采用风冷或气冷方式进行冷却。