[发明专利]热膨胀系数测定装置和热膨胀系数测定方法

权利要求书

1.一种热膨胀系数测定装置，其特征在于，具备：

温度检测部，其对被测定物的温度进行检测；

光波干涉仪，其使用单一波长的光来测定所述被测定物的长度尺寸；

实测数据获取部，其依次变更所述被测定物的温度，获取在i＝1～k的各温度Ti下由所述光波干涉仪测定的所述被测定物的长度尺寸的实测数据Li；

数据集生成部，其针对各所述实测数据Li生成通过将干涉级次设定在任意的范围内所得到的多个验证用数据Di，从针对i＝1～k的各温度Ti的所述验证用数据Di中分别选出一个所述验证用数据Di来形成数据集，并生成所述验证用数据Di的选择的组合各不相同的多个所述数据集；以及

判定部，其关于多个所述数据集分别导出阶数各不相同的多个近似函数，针对每个所述近似函数计算基于所述数据集的各所述验证用数据Di与所述近似函数的差的评价指标值，从多个所述数据集中提取所述评价指标值最小的候选数据集，基于针对各所述近似函数提取出的所述候选数据集是否相同来判定所述候选数据集的有效性，其中，k为大于1的正整数。

2.根据权利要求1所述的热膨胀系数测定装置，其特征在于，

还具备热膨胀系数计算部，该热膨胀系数计算部关于多个所述数据集分别计算热膨胀系数，

所述判定部将计算出的所述热膨胀系数处于预先设定的第一容许范围的范围外的所述数据集排除。

3.根据权利要求1所述的热膨胀系数测定装置，其特征在于，

所述判定部将各所述数据集的所述验证用数据Di与所述近似函数的差的代表值作为所述评价指标值，来判定所述评价指标值最小的所述数据集的有效性。

4.根据权利要求3所述的热膨胀系数测定装置，其特征在于，

所述判定部判定所述评价指标值最小的所述数据集的所述评价指标值是否处于预先设定的第二容许范围的范围内。

5.根据权利要求3所述的热膨胀系数测定装置，其特征在于，

所述判定部判定所述评价指标值最小的所述数据集的所述评价指标值与所述评价指标值第二小的所述数据集的所述评价指标值的差值是否为规定值以上。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的热膨胀系数测定装置，其特征在于，

还具备级次范围获取部，该级次范围获取部获取所述干涉级次的范围，

所述数据集生成部生成通过将所述干涉级次设定在由所述级次范围获取部获取到的所述干涉级次的范围内所得到的所述验证用数据Di。

7.根据权利要求1至5中的任一项所述的热膨胀系数测定装置，其特征在于，

所述数据集生成部使针对任意一个温度Tf的实测数据Lf的所述干涉级次固定来生成验证用数据Df，关于除此以外的所述实测数据Li计算通过将所述干涉级次设定在所述任意的范围内所得到的所述验证用数据Di，其中，f为1以上、k以下的正整数。

8.根据权利要求1至5中的任一项所述的热膨胀系数测定装置，其特征在于，

所述实测数据获取部获取使所述被测定物的温度的温度变化量以不相等的间隔变化时所得到的所述实测数据Li。

9.一种热膨胀系数测定方法，用于对被测定物的热膨胀系数进行测定，该热膨胀系数测定方法的特征在于，实施以下步骤：

依次变更所述被测定物的温度，获取针对i＝1～k的各温度Ti的实测数据Li，该实测数据Li是在由使用单一波长的光的光波干涉仪测定各温度Ti下的所述被测定物的长度尺寸时得到的；

针对各所述实测数据Li生成通过将干涉级次设定在任意的范围内所得到的多个验证用数据Di，从针对i＝1～k的各温度Ti的所述验证用数据Di中分别选出一个所述验证用数据Di来形成数据集，并生成所述验证用数据Di的选择的组合各不相同的多个所述数据集；以及

关于多个所述数据集分别导出阶数各不相同的多个近似函数，针对每个所述近似函数计算基于所述数据集的各所述验证用数据Di与所述近似函数的差的评价指标值，从多个所述数据集中提取所述评价指标值最小的候选数据集，基于针对各所述近似函数提取出的所述候选数据集是否相同来判定所述候选数据集的有效性，其中，k为大于1的正整数。