[发明专利]超净间内零过多颗粒数的统计过程控制方法

权利要求书

1.一种超净间零过多颗粒数的统计过程控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)采集样本：利用颗粒数计数器每隔一段时间，对空气中直径大于设定值的颗粒数测量一次，得到的样本数据中需至少包含90个非零数据；

(2)根据步骤(1)得到样本数据，获得颗粒数为m的样本概率p_m和样本概率均值

(3)根据不同颗粒数的样本概率和样本概率均值，利用迭代法，获得阈值泊松分布模型中真实颗粒数均值c和阈值T的参数估计值：

3a)设定计数阈值T的初始值T₀＝0；

3b)根据T₀值，获得真实颗粒数均值c的初始值c₀：

其中，表示自由度为2(T₀+1)的χ²分布的p₀下分位点；

3c)通过下式获得T₀和c₀对应的颗粒数为m的理论概率值p_0m：

3d)根据p_m和步骤3c)得到的p_0m，获得迭代点T₀和c₀对应的判决系数R²(T₀,c₀)：

3e)令T的下一个迭代点T₁＝T₀+1，根据T₁值，获得相应的c的下一个迭代点c₁：

其中，表示自由度为2(T₁+1)的χ²分布的p₀下分位点；

3f)通过下式获得T₁和c₁对应的颗粒数为m的理论概率值p_1m：

3g)根据p_m和步骤3f)得到的p_1m，计算迭代点T₁和c₁对应的判决系数R²(T₁,c₁)；

3h)将上述得到的R²(T₀,c₀)与R²(T₁,c₁)进行比较：

若R²(T₀,c₀)≤R²(T₁,c₁)，则令T₀＝T₁，R²(T₀,c₀)＝R²(T₁,c₁)，返回步骤3e)；

若R²(T₀,c₀)＞R²(T₁,c₁)，则停止迭代，得到c和T的估计值：T＝T₀,c＝c₀；

(4)根据c和T的估计值，获得控制图的上控制线UCL：

(5)按照休哈特控制图的绘制方法，将步骤(4)得到的上控制线和步骤(1)采集到的样本数据绘制到控制图中；

(6)根据步骤(5)得到的控制图判断超净间内的颗粒数是否受控：

如果数据点落在上控制线以下，则说明超净内的颗粒数是受控的，继续进行生产；

如果数据点落在上控制线以上，则说明超净间内的颗粒数是失控的，则需停止生产，查找失控原因并采取相应的措施。

2.根据权利要求书1所述的方法，所述步骤(2)，按如下步骤进行：

2a)对步骤(1)得到样本数据进行统计，将样本数据的总个数记为k，将样本数据的最大值记为M，将颗粒数为m的样本个数记为k_m，m＝0,1,…,M；

2b)计算颗粒数为m的样本概率p_m

2c)获得不同颗粒数样本概率的均值

3.根据权利要求书1所述的方法，所述步骤(5)，按如下步骤进行：

5a)新建平面直角坐标系A，在A中绘制出步骤(4)中得到的上控制线UCL；

5b)将步骤1得到的样本数据按照测量顺序标示在坐标系A上，然后按测量顺序将数据点用折线连接。