[发明专利]电子束成像装置

权利要求书

1.一种电子束成像装置，其特征在于，所述电子束成像装置包括光电阴极、栅网、漂移管、微通道板、荧光屏、电荷耦合器件及至少两个磁透镜；

所述光电阴极、所述栅网及所述微通道板顺序排列在所述漂移管内，所述荧光屏及所述电荷耦合器件顺序排列在所述微通道板背向所述栅网的一侧，所述荧光屏及所述电荷耦合器件设置于所述漂移管外，且所述光电阴极、所述栅网、所述微通道板、所述荧光屏和所述电荷耦合器件对齐设置；

所述至少两个磁透镜滑动套设于所述漂移管外；每个磁透镜的长度小于等于25cm。

2.根据权利要求1所述的电子束成像装置，其特征在于，所述微通道板上设置有若干条互相平行的微带阴极。

3.根据权利要求2所述的电子束成像装置，其特征在于，所述光电阴极包括玻璃基板以及设置在所述玻璃基板上的若干条互相平行的金属微带。

4.根据权利要求3所述的电子束成像装置，其特征在于，所述光电阴极上的金属微带的数量与所述微通道板上的微带阴极的数量相同。

5.根据权利要求4所述的电子束成像装置，其特征在于，所述微通道板上设置有三条互相平行的微带阴极；所述玻璃基板上设置有三条互相平行的金属微带。

6.根据权利要求4所述的电子束成像装置，其特征在于，所述金属微带为表面镀金的铝金属微带。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的电子束成像装置，其特征在于，所述光电阴极和所述微通道板分别具有圆形侧面，所述光电阴极的圆形侧面与所述微通道板的圆形侧面相对设置，所述微通道板的圆形侧面半径小于或等于所述光电阴极的圆形侧面半径。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的电子束成像装置，其特征在于，所述电子束成像装置包括三个到五个磁透镜。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的电子束成像装置，其特征在于，所述漂移管的长度大于等于为45厘米。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的电子束成像装置，其特征在于，每个所述磁透镜包括柱状内壳、绕设于所述内壳外的线圈、以及包覆于所述线圈外的软铁壳，所述内壳沿长度方向的中间位置开设有环形间隙。