[发明专利]一种光束调整装置、稳定光束的装置和方法

权利要求书

1.一种光束调整装置，其特征在于，包括：反射镜、反射镜安装座、初始调整单元和微动调整单元，所述初始调整单元连接所述反射镜安装座，所述反射镜通过微动调整单元安装在反射镜安装座上，所述初始调整单元驱动反射镜安装座运动，所述微动调整单元驱动反射镜相对反射镜安装座运动。

2.如权利要求1所述的光束调整装置，其特征在于，所述初始调整单元驱动所述反射镜安装座倾斜运动，具体包括：

光束初始位置调整机构，驱动所述反射镜安装座绕X方向运动；

光束初始指向调整机构，驱动所述反射镜安装座绕Y方向运动。

3.如权利要求1所述的光束调整装置，其特征在于，所述微动调整单元包括三个压电执行器，每个所述压电执行器具有沿反射镜安装座的法向方向的自由度。

4.如权利要求3所述的光束调整装置，其特征在于，所述三个压电执行器呈等腰三角形或等边三角形设置。

5.如权利要求3所述的光束调整装置，其特征在于，每个所述压电执行器与所述反射镜之间用柔性连接器进行连接。

6.如权利要求3所述的光束调整装置，其特征在于，所述微动调整单元还包括位置传感器，用于检测各个压电执行器的运动量。

7.一种稳定光束的装置，设于光源发生器与光源使用设备之间，其特征在于，所述稳定光束的装置包括：光束稳定探测装置、控制器及如权利要求1-6中任意一项所述的光束调整装置，所述光束调整装置的输入端接收所述光源发生器输出的输入端光束，经所述光束调整装置调整后出射的输出端光束入射至所述光源使用设备，所述光束稳定探测装置探测所述输出端光束信号发送给所述控制器，所述控制器根据接收的探测信号计算所述输出端光束的位置和指向，并根据目标光束的要求控制所述光束调整装置对所述输入端光束进行调整。

8.如权利要求7所述的稳定光束的装置，其特征在于，所述稳定光束的装置还包括第一分光镜和第二分光镜，所述光束稳定探测装置包括第一探测器及第二探测器；所述输出端光束入射至第一分光镜，被分成第一反射光和第一透射光，第一透射光入射至第一探测器，第一反射光入射至第二分光镜，被分成第二反射光和第二透射光，所述第二反射光入射至所述光源使用设备，所述第二透射光入射至第二探测器，所述控制器读取所述第一探测器和所述第二探测器探测的信号。

9.如权利要求8所述的稳定光束的装置，其特征在于，所述第一探测器用于探测所述输出端光束在Y方向的位置；所述第二探测器用于探测所述输出端光束在X方向的位置。

10.如权利要求7所述的稳定光束的装置，其特征在于，所述控制器内设置有存储设备，存放所述初始调整单元初始化或复位反射镜安装座位置时的调整参数、以及所述微动调整单元校正输出端光束与目标光束之间位置和指向偏差时所依据的差异校正模型，所述差异校正模型包括所述微动调整单元的若干调整方式和调整量，以及调整后对应的输出端光束的位置和指向。

11.一种稳定光束的方法，其特征在于，采用如权利要求7所述的稳定光束的装置，

步骤1：在安装所述稳定光束的装置时，按照目标光束的位置和指向要求，结合所述光束稳定探测装置的探测信号，控制所述初始调整单元驱动反射镜安装座运动；

步骤2：在光源使用设备工作时，所述光束稳定探测装置探测所述光束调整装置出射的输出端光束并反馈给所述控制器，所述控制器比较所述输出端光束与目标光束之间的位置和指向偏差，控制所述微动调整单元驱动反射镜相对反射镜安装座运动以校正所述位置和指向偏差。

12.如权利要求11所述的稳定光束的方法，其特征在于，将完成安装后所述初始调整单元的调整参数存储至控制器，在停机再启动或复位时，控制所述初始调整单元根据存储的调整参数自动调整所述反射镜安装座的位置。