[发明专利]一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材

权利要求书

1.一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材，其特征在于：

包括整体呈圆柱型的靶材本体(1)，所述靶材本体(1)由钛铝合金制成，所述靶材本体(1)上底面具有一个外缘凸起、中心凹陷的凹陷底面(11)，所述靶材本体(1)与所述凹陷表面(11)相对的下底面(14)中心具有一个安装孔(12)，所述靶材本体(1)的圆柱侧面具有不止一个降温孔(13)，所述降温孔(13)在所述靶材本体(1)内部联通至所述安装孔(12)；

还包括一个整体呈圆盘型冷却底座(2)，所述冷却底座(2)由黄铜制成，所述冷却底座(2)上底面(22)的外圆周处具有一圈安装限位圈(21)，所述安装限位圈(21)的高度小于所述靶材本体(1)的高度，所述安装限位圈(21)的圆周上具有与所述降温孔(13)配套的出流孔(24)，所述冷却底座(2)的上底面(22)中心具有中空的连接螺栓(23)，所述连接螺栓(23)可与所述安装孔(12)配合安装。

2.根据权利要求1所述的一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材，其特征在于：

在安装状态下，所述靶材本体(1)的所述下底面(14)与所述冷却底座(2)的所述上底面(22)紧密贴合，所述靶材本体(1)的所述安装孔(12)与所述冷却底座(2)的所述连接螺栓(23)相互联通并呈过盈配合，所述靶材本体(1)的所述降温孔(13)与所述冷却底座(2)的所述出流孔(24)一一联通并呈过盈配合；

在加工状态下，随着温度升高，所述靶材本体(1)与所述冷却底盘(2)由于材料差异导致的不同热胀冷缩率，所述靶材本体(1)会相对于所述冷却底盘(2)膨胀并卡紧与安装空间中，所述过盈配合联通的安装孔(12)与连接螺栓(23)以及降温孔(13)与出流孔(24)在560℃以上的温度呈过度配合，此时冷却液可从所述中空的连接螺栓(23)流至所述安装孔(12)，再由所述安装孔(12)流入所述降温孔(13)，最后从降温孔(13)流入到出流孔(24)中。

3.根据权利要求1所述的一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材，其特征在于：所述靶材本体(1)的下底面(14)为非平整表面，所述冷却底盘(2)的上底面(22)为与所述靶材本体(1)的下底面(14)相啮合的非平整表面。

4.根据权利要求3所述的一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材，其特征在于：所述冷却底盘(2)的上底面(22)与所述靶材本体(1)的下底面(14)为具有圆弧状外凸结构的非平整表面。

5.根据权利要求4所述的一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材，其特征在于：所述具有圆弧状外凸结构的非平整表面的圆弧以上底面(22)或下底面(14)的中心为原点呈螺旋扩散状向圆周延伸。

6.根据权利要求4所述的一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材，其特征在于：所述具有圆弧状外凸结构的非平整表面的圆弧以上底面(22)或下底面(14)的中心为原点呈同心圆状向圆周扩散。

7.根据权利要求4所述的一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材，其特征在于：所述具有圆弧状外凸结构的非平整表面的圆弧以呈中心对称的两点为圆心分别形成两簇同心圆状向圆周扩散。

8.根据权利要求1-7的任一所述的一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材，其特征在于：所述冷却底盘(2)上的所述出流孔(24)以及所述连接螺栓(23)形成内部流体通路，冷却也可从所述出流孔(24)回流至所述连接螺栓(23)。

9.根据权利要求1-7的任一所述的一种具有冷却孔的钛铝合金凹陷靶材，其特征在于：所述冷却底盘(2)上的所述出流孔(24)以及所述连接螺栓(23)分别连接至外部的冷却液源，冷却液可从冷却液源流入所述连接螺栓(23)，并从所述出流孔(24)流回冷却液源。