[发明专利]等离子辅助氧化处理装置及其用途

权利要求书

1.一种等离子辅助氧化处理装置，包括气源、氧化气源、加热器、高温氧化气输送管、等离子发生器、连接管、等离子喷头、氧化气喷头、传送器，红外测温器，气源与等离子发生器一端相连，等离子发生器通过连接管与等离子喷头相连，氧化气源与加热器一端相连，加热器通过高温氧化气输送管与氧化气喷头相连，等离子喷头、氧化气喷头均为对喷布置，喷头出口方向设有传送器，待处理样品位于传送器上。

2.根据权利要求1所述等离子辅助氧化处理装置，其特征在于传送器上方的等离子喷头、氧化气喷头并列布置，该等离子喷头、氧化气喷头之间设有红外测温器。

3.根据权利要求1所述等离子辅助氧化处理装置，其特征在于通过调节气源的流量和更换不同的等离子喷头实现等离子焰的高度调节。

4.根据权利要求1所述等离子辅助氧化处理装置，其特征在于通过调节等离子喷头与样品的距离，实现处理和预热程度的调节，通过加热器实现氧化温度控制。

5.根据权利要求2所述等离子辅助氧化处理装置，其特征在于通过红外测温器实现处理表面温度测量及反馈。

6.根据权利要求1所述等离子辅助氧化处理装置，其特征在于通过调节传送器速度，实现处理时间的控制。

7.根据权利要求1所述等离子辅助氧化处理装置，其特征在于气源向等离子发生器提供气体产生等离子流，依次经过连接管和等离子喷头，等离子流经喷头对待处理样品的上下表面进行处理，实现表面的清洁、活化和预热，氧化气源的气体经加热器加热到设定温度后，经氧化气喷头喷出，等离子处理的待处理样品在传送器的传动下再经过氧化气喷头进行氧化处理。

8.根据权利要求1所述等离子辅助氧化处理装置，其特征在于等离子喷头至少为两个，氧化气喷头至少为两个。

9.根据权利要求1所述等离子辅助氧化处理装置，其特征在于每个等离子喷头流量相同，每个氧化气喷头流量相同。

10.权利要求1-9所述等离子辅助氧化处理装置在不锈钢的钝化处理中的应用。