[发明专利]基于双自准直仪的高精度测角误差检测装置及其检测方法有效
申请号: | 201811020561.2 | 申请日: | 2018-09-03 |
公开(公告)号: | CN108827190B | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 于海;万秋华;赵长海;梁立辉;杜颖财 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 准直仪 高精度 误差 检测 装置 及其 方法 | ||
本申请公开了一种基于双自准直仪的高精度测角误差检测装置及其检测方法,包括:被测光电编码器;多面棱体,位于被测光电编码器上方且与被测光电编码器同轴转动;第一自准直仪和第二自准直仪,分别对准多面棱体的对径面,用于同时测量出被测光电编码器的测角误差值;处理器,用于读取测角误差值,并通过预设误差计算算法对其进行处理,以获取被测光电编码器的高精度测角误差结果。该装置同时采集两个自准直仪对被测光电编码器的误差测量结果,根据预设误差计算算法完成对被测光电编码器的高精度误差检测,消除了由于多面棱体不水平导致的检测不准确,能够准确的实现对高精度光电编码器误差检测,检测方法简单,且极大地提高了检测精度。
技术领域
本发明涉及光电位移精密测量技术领域,特别是涉及一种基于双自准直仪的高精度测角误差检测装置及其检测方法。
背景技术
光电轴角编码器,又称光电角位置传感器,是一种集光、机、电为一体的精密数字测角装置。它以高精度计量圆光栅为检测元件,通过光电转换,将角位置信息转换成数字代码,具有精度高、测量范围广、体积小、重量轻、使用可靠、易于维护等优点,被广泛应用于雷达、机器人、光电经纬仪、数控机床等诸多领域。
在采用多面棱体和激光自准直仪对高精度光电编码器进行测角误差检测的时候,对多面棱体水平度(塔差)的调节好坏,直接影响到检测结果的准确度。传统的检测方法往采用水平仪或电感仪在检测前对多面棱体进行水平度调节。这种方法费时费力,且由于采用人工手动调节存在一定的误差。当对较高精度的光电编码器进行误差检测的时候,检测结果往往受到水平度的影响导致检测结果不能准确反映被测光电编码器的真实误差。
因此,如何解决由于多面棱体不水平导致的测量不准确等问题,是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种基于双自准直仪的高精度测角误差检测装置,能够准确的实现对高精度光电编码器误差检测,检测方法简单,且极大地提高了检测精度。其具体方案如下:
一种基于双自准直仪的高精度测角误差检测装置,包括:
被测光电编码器;
多面棱体,位于所述被测光电编码器上方且与所述被测光电编码器同轴转动;
第一自准直仪和第二自准直仪,分别对准所述多面棱体的对径面,用于同时测量出所述被测光电编码器的测角误差值;
处理器,分别与所述第一自准直仪和所述第二自准直仪连接,用于读取所述第一自准直仪和所述第二自准直仪同时测量出的测角误差值,并通过预设误差计算算法对读取的所述测角误差值进行处理,以获取所述被测光电编码器的高精度测角误差结果。
优选地,在本发明实施例提供的上述基于双自准直仪的高精度测角误差检测装置中,还包括:用于固定所述被测光电编码器的支架。
优选地,在本发明实施例提供的上述基于双自准直仪的高精度测角误差检测装置中,所述第一自准直仪和所述第二自准直仪相对而置。
优选地,在本发明实施例提供的上述基于双自准直仪的高精度测角误差检测装置中,所述第一自准直仪和所述第二自准直仪的水平度相同。
优选地,在本发明实施例提供的上述基于双自准直仪的高精度测角误差检测装置中,所述第一自准直仪、所述第二自准直仪和所述多面棱体处于同一水平轴线上。
优选地,在本发明实施例提供的上述基于双自准直仪的高精度测角误差检测装置中,具有所述预设误差计算算法的处理器包括:
误差计算单元,用于计算所述多面棱体中每个面所处角度位置的测角误差平均值;
精度计算单元,用于根据所述测角误差平均值,计算所述被测光电编码器的测角精度值。
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