[发明专利]一种用于浸没式成像系统的浸没头

权利要求书

1.一种用于浸没式成像系统的浸没头，包括镜筒、镜片和浸没头基座，所述镜片安装在所述镜筒中，其特征在于：所述浸没头基座与所述镜筒连接并可相对所述镜筒沿上下方向移动，所述浸没头基座设置有向上延伸的侧壁，所述侧壁配合设置在所述镜筒的外侧，所述侧壁与所述镜筒的外侧密封接触并可相对滑动，在所述浸没头基座相对所述镜筒上下移动的过程中，所述侧壁至少部分与所述镜筒的外侧密封接触；所述浸没头基座与所述镜筒之间设置有弹性件；当所述浸没头基座相对所述镜筒向上移动时，所述弹性件可为所述浸没头基座提供向下的缓冲弹力。

2.根据权利要求1所述的用于浸没式成像系统的浸没头，其特征在于，所述浸没头基座设置有通孔，所述通孔内穿设有柱状连接件，所述浸没头基座通过所述柱状连接件与所述镜筒连接，所述浸没头基座可沿所述柱状连接件的轴向移动，所述弹性件套设在所述柱状连接件的外侧。

3.根据权利要求2所述的用于浸没式成像系统的浸没头，其特征在于，所述镜筒靠近所述浸没头基座的一侧设置有安装孔，所述安装孔内固定连接有导向柱，所述柱状连接件靠近所述镜筒的一端与所述导向柱固定连接。

4.根据权利要求3所述的用于浸没式成像系统的浸没头，其特征在于，所述安装孔内设置有内螺纹，所述导向柱靠近所述镜筒的一端设置有外螺纹，所述导向柱与所述安装孔螺纹连接。

5.根据权利要求3所述的用于浸没式成像系统的浸没头，其特征在于，所述导向柱的下端开有内螺纹孔，所述柱状连接件靠近所述镜筒的一端螺纹连接在所述导向柱下端的内螺纹孔内。

6.根据权利要求3所述的用于浸没式成像系统的浸没头，其特征在于，所述导向柱上设置有法兰，所述法兰的上表面抵靠在所述镜筒的下表面；所述法兰将所述导向柱分割成连接部和光滑部，所述连接部配合连接在所述安装孔内，所述柱状连接件与所述光滑部固定连接。

7.根据权利要求6所述的用于浸没式成像系统的浸没头，其特征在于，所述法兰上设置有倒边。

8.根据权利要求3所述的用于浸没式成像系统的浸没头，其特征在于，所述弹性件套设在所述导向柱的外侧。

9.根据权利要求2所述的用于浸没式成像系统的浸没头，其特征在于，所述镜筒靠近所述浸没头基座的一侧设置有安装孔，所述安装孔内固定连接有导向柱，所述导向柱设置有法兰，所述法兰的上表面抵靠在所述镜筒的下表面；所述法兰将所述导向柱分割成连接部和光滑部，所述连接部配合连接在所述安装孔内，所述光滑部开有内螺纹孔，所述柱状连接件的上端配合连接在所述内螺纹孔内，所述弹性件套设在所述导向柱外，所述弹性件被限位在所述法兰与所述浸没头基座之间。

10.根据权利要求9所述的用于浸没式成像系统的浸没头，其特征在于，所述安装孔包括均匀设置在所述镜筒靠近所述浸没头基座一侧的多个，所述柱状连接件包括与所述安装孔一一对应的多个。