[发明专利]氧化锌纳米棒/氧化亚铜锯齿状异质结及制备方法及应用有效
| 申请号： | 201811022083.9 | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN109148646B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 杨维清;邓维礼;熊达;田果;高育育;闫成;靳龙;杨涛 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 51258 成都超凡明远知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张红平 |
| 地址： | 610000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化锌纳米棒 氧化亚铜薄膜 锯齿状 制备 氧化亚铜 异质结 制备氧化锌纳米 柔性电极 氧化锌种子层 形貌 材料领域 生长溶液 浸入 电解液 铜离子 氧化锌 应用 生长 | ||
1.一种氧化锌纳米棒/氧化亚铜锯齿状异质结的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
利用含铜离子的电解液，采用电化学沉积法在柔性电极上制备氧化亚铜薄膜；
在所述氧化亚铜薄膜上制备氧化锌种子层后，浸入生长溶液中，于82-87℃反应5-7h；所述氧化亚铜表面为锯齿状，氧化锌纳米棒沿着锯齿状氧化亚铜表面生长；所述氧化锌纳米棒的生长方向与所述氧化亚铜表面垂直，使得异质结表面形貌能够保持为锯齿状；
其中，所述生长溶液是硝酸锌和乌洛托品的混合溶液、氨水-六水合硝酸锌、氨水-六次甲基四胺-六水合硝酸锌、氯化铵-六次甲基四胺-六水合硝酸锌或者聚乙烯亚胺-六次甲基四胺-硝酸锌中的任意一种。
2.如权利要求1所述的氧化锌纳米棒/氧化亚铜锯齿状异质结的制备方法，其特征在于，
所述含铜离子的电解液是将0.01-0.03 mol/L的硫酸铜和0.3-0.5 mol/L的乳酸溶液混合后，用0.5-1.5 mol/L的氢氧化钠溶液调节pH至12-13后制得。
3.如权利要求1所述的氧化锌纳米棒/氧化亚铜锯齿状异质结的制备方法，其特征在于，
所述硝酸锌和所述乌洛托品的所述混合溶液的浓度为0.08-0.12mol/L。
4.如权利要求1所述的氧化锌纳米棒/氧化亚铜锯齿状异质结的制备方法，其特征在于，
在所述氧化亚铜薄膜上制备氧化锌种子层是采用磁控溅射的方法制备所述氧化锌种子层。
5.如权利要求4所述的氧化锌纳米棒/氧化亚铜锯齿状异质结的制备方法，其特征在于，
采用所述磁控溅射的方法制备所述氧化锌种子层时，磁控功率为55-65W，Ar:O2=40:1，磁控溅射1.8-2.2h。
6.如权利要求1-5任一项所述的氧化锌纳米棒/氧化亚铜锯齿状异质结的制备方法，其特征在于，
浸入所述生长溶液中5-7h后，还对得到的材料进行烘干。
7.一种氧化锌纳米棒/氧化亚铜锯齿状异质结，其特征在于，采用如权利要求1-6任一项所述的氧化锌纳米棒/氧化亚铜锯齿状异质结的制备方法制得。
8.一种如权利要求7所述的氧化锌纳米棒/氧化亚铜锯齿状异质结在自驱动光通讯器件中的应用。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
