[发明专利]硅棒开方设备、硅棒开方方法及边皮卸载装置

权利要求书

1.一种硅棒开方设备，其特征在于，包括：

硅棒承载装置，包括硅棒承载台，用于承载竖立放置的待切割硅棒；

线切割装置，包括可升降活动的线切割支座和设于所述线切割支座上的线切割单元，所述线切割单元中具有切割线段；利用所述线切割装置对所述硅棒承载装置所承载的待切割硅棒进行开方切割，由所述切割线段贯穿所述待切割硅棒以形成已切割硅棒和边皮；

边皮卸载装置，包括：边皮提升机构，设于所述线切割支座上，用于提升所述边皮；拨线机构，设于所述线切割支座上，用于拨动所述切割线段朝向外侧扩张以避免所述切割线段与所述已切割硅棒发生干涉；

其中，所述边皮提升机构包括设于所述线切割支座上且可伸缩运动的顶升件，所述顶升件受控作伸展运动后托住所述边皮的底部以顶升所述边皮；或者，所述边皮提升机构包括设于所述线切割支座上且可伸缩运动的吸附件，所述吸附件受控作伸展运动后抵靠于所述边皮并吸附所述边皮以提升所述边皮；

所述拨线机构包括：驱动件，设于所述顶升件或所述吸附件上并跟随着所述顶升件或所述吸附件作伸缩运动；拨线组件，受控于所述驱动件并在所述驱动件作伸展运动时拨动所述切割线段朝向外侧扩张。

2.根据权利要求1所述的硅棒开方设备，其特征在于，所述硅棒承载装置还包括：相对所述硅棒承载台活动设置的硅棒顶压机构，用于顶压所述待切割硅棒的顶部。

3.根据权利要求1所述的硅棒开方设备，其特征在于，所述拨线组件包括：

受控件，与所述驱动件保持联动；以及

拨线件，通过传动件连接于所述受控件。

4.根据权利要求3所述的硅棒开方设备，其特征在于，所述拨线件受控作平移或沿一弧线路径摆动。

5.根据权利要求3所述的硅棒开方设备，其特征在于，所述驱动件包括设于所述顶升件或所述吸附件上且沿着伸缩运动方向前后设置推杆和拉杆，所述传动件枢接于所述线切割支座且具有第一端和第二端，所述受控件为设于所述传动件的第一端且位于所述推杆和拉杆之间的受控杆，所述拨线件为设于所述传动件的第二端的拨线杆。

6.根据权利要求1所述的硅棒开方设备，其特征在于，所述边皮卸载装置还包括：边皮夹持转运机构，用于夹持住所述边皮的顶部后拉升所述边皮以使得所述边皮脱离所述已切割硅棒以及将所述边皮转运至边皮卸载区。

7.根据权利要求6所述的硅棒开方设备，其特征在于，所述边皮夹持转运机构包括：

提供至少一个方向移动的移动机构；以及

在所述移动机构上行进的夹持结构。

8.根据权利要求7所述的硅棒开方设备，其特征在于，所述夹持结构包括：

夹持主体，用于探入到多个边皮所围成的空间内；以及

可伸缩运动的夹持件，设于所述夹持主体外围；所述夹持件与所述夹持主体之间形成供夹持所述边皮的夹持空间。

9.根据权利要求7所述的硅棒开方设备，其特征在于，所述夹持结构包括：第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件与所述第二夹持件之间形成供夹持所述边皮的夹持空间。

10.根据权利要求6所述的硅棒开方设备，其特征在于，所述边皮卸载装置还包括：边皮筒，设于所述边皮卸载区。

11.根据权利要求6的硅棒开方设备，其特征在于，所述边皮卸载装置还包括：边皮输送结构，设于所述边皮卸载区。

12.根据权利要求1所述的硅棒开方设备，其特征在于，还包括：硅棒转运装置，用于将待切割硅棒转运至所述硅棒承载装置以及将已切割硅棒从所述硅棒承载装置转运出。

13.根据权利要求12所述的硅棒开方设备，其特征在于，所述硅棒转运装置包括：换向载具；

硅棒夹具，设于所述换向载具上。