[发明专利]多线切割设备及其换槽机构

权利要求书

1.一种多线切割设备，其特征在于，包括：

承载装置，用于承载晶体硅工件；

线切割装置，包括线切割支座、设于所述线切割支座上的切割轮组和导线轮组、以及切割线，其中，所述切割线绕于所述切割轮组中各个切割轮和所述导线轮组中各个导线轮而形成切割线网；所述切割轮通过安装轴而设于所述切割支座上，所述切割轮上开设有至少二圈线槽；以及

换槽机构，包括设于所述安装轴中至少一端的段落式调整结构；

其中，在换槽过程中，转动所述安装轴，驱动所述段落式调整结构进行段落式移动，将新的线槽调整至原线槽所在的绕线位置。

2.根据权利要求1所述的多线切割设备，其特征在于，所述换槽机构还包括定位结构，所述定位结构与所述段落式调整结构配合，用于定位所述段落式调整结构进行段落式移动的移动距离。

3.根据权利要求2所述的多线切割设备，其特征在于，所述段落式调整结构为设在所述安装轴末端的台阶式端面，所述台阶式端面中台阶面的数量与所述切割轮上线槽数量相一致，且，相邻两个台阶面之间的落差对应于相邻两圈线槽之间的槽距；所述定位结构为止挡销，用于通过抵靠于所述台阶式端面中的台阶面进行定位。

4.根据权利要求3所述的多线切割设备，其特征在于，所述台阶式端面中相邻两个台阶面之间的落差为1.8毫米至2.5毫米。

5.根据权利要求3所述的多线切割设备，其特征在于，所述台阶式端面中相邻两个台阶面之间还包括过渡结构。

6.根据权利要求2所述的多线切割设备，其特征在于，所述段落式调整结构为设在所述安装轴内的台阶式凹槽，所述台阶式凹槽中台阶槽的数量与所述切割轮上线槽数量相一致，且，相邻两个台阶槽之间的落差对应于相邻两圈线槽之间的槽距；所述定位结构为定位插销，用于通过卡入于所述台阶式凹槽中的台阶槽进行定位。

7.根据权利要求7所述的多线切割设备，其特征在于，所述台阶式凹槽中相邻两个台阶槽之间的落差为1.8毫米至2.5毫米。

8.根据权利要求7所述的多线切割设备，其特征在于，所述台阶式凹槽中相邻两个台阶槽之间还包括过渡结构。

9.一种应用于多线切割设备的换槽机构，所述多线切割设备包括承载装置、以及线切割装置，所述承载装置包括线切割支座、设于所述线切割支座上的切割轮组和导线轮组、以及切割线，其中，所述切割线绕于所述切割轮组中各个切割轮和所述导线轮组中各个导线轮而形成切割线网；所述切割轮通过安装轴而设于所述切割支座上，所述切割轮上开设有至少二圈线槽；其特征在于，所述边换槽机构包括设于所述安装轴中至少一端的段落式调整结构；在换槽过程中，转动所述安装轴，驱动所述段落式调整结构进行段落式移动，将新的线槽调整至原线槽所在的绕线位置。

10.根据权利要求9所述的换槽机构，其特征在于，所述换槽机构还包括定位结构，所述定位结构与所述段落式调整结构配合，用于定位所述段落式调整结构进行段落式移动的移动距离。

11.根据权利要求10所述的换槽机构，其特征在于，所述段落式调整结构为设在所述安装轴末端的台阶式端面，所述台阶式端面中台阶面的数量与所述切割轮上线槽数量相一致，且，相邻两个台阶面之间的落差对应于相邻两圈线槽之间的槽距；所述定位结构为止挡销，用于通过抵靠于所述台阶式端面中的台阶面进行定位。

12.根据权利要求11所述的换槽机构，其特征在于，所述台阶式端面中相邻两个台阶面之间的落差为1.8毫米至2.5毫米。

13.根据权利要求11所述的换槽机构，其特征在于，所述台阶式端面中相邻两个台阶面之间还包括过渡结构。