[发明专利]一种太阳能电池的制备工艺在审
申请号: | 201811025440.7 | 申请日: | 2018-09-04 |
公开(公告)号: | CN109285918A | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 李跃恒;高艳飞;张强;杨爱静;宋标;王涛;韩秦军 | 申请(专利权)人: | 国家电投集团西安太阳能电力有限公司;国家电投集团西安太阳能电力有限公司西宁分公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/268 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人: | 郭桂峰 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光划线 划线区域 非激光 掺杂量 太阳能电池 扩散掺杂 正面栅线 制备工艺 印刷 非栅线区域 短路电流 后续程序 丝网印刷 填充因子 栅线区域 正面电极 浅掺杂 重掺杂 硅片 掺杂 | ||
本发明公开了一种太阳能电池的制备工艺,通过先对硅片进行激光划线形成正面电极图形再进行扩散掺杂及后续程序,由于提前在正面栅线印刷的区域进行激光划线,在进行扩散掺杂时,激光划线区域的表面积大于非激光划线区域的面积,激光划线区域的掺杂深度大于非激光划线区域,因此激光划线区域的掺杂量大于非激光划线区域的掺杂量,非激光划线区域的掺杂量相对低一些,因此经过丝网印刷正面栅线印刷后,栅线区域实现了重掺杂,非栅线区域实现了浅掺杂,可以同时获得更高的填充因子FF和短路电流Isc。
技术领域
本发明涉及太阳能电池制造技术领域,尤其涉及一种太阳能电池的制备工艺。
背景技术
太阳能是一种清洁、高效和永不衰竭的新能源,是重要的可再生能源之一。随着太阳能行业的发展,更多的客户及太阳能电池制造商越来越重视高效率太阳能电池的生产。近年来,国内外对高效太阳能电池的制造工艺进行了大量研究,有结果显示:在正面栅线浆料覆盖区域进行重掺杂扩散,可以获得更高的填充因子FF,从而获得更高的电池转换效率。常规扩散是均匀扩散,扩散掺杂量变大会导致非正面栅线印刷区域的复合增加,因此会导致电池转换效率的降低。填充因子FF和短路电流Isc非常难以平衡。
因此,有必要对太阳能电池制造工艺进行改进。
发明内容
本发明提出了一种太阳能电池的制备工艺,以在减少非正面栅线区域复合的同时,提高正面栅线区域的接触。
为了解决上述问题,本发明提供如下技术方案:
一种太阳能电池的制备工艺,包括以下步骤:
S1:对硅片进行激光划线,其中激光划线形成的图形与丝网印刷正电极图形相同,所述丝网印刷正电极图形包括正面栅线图形;
S2:对激光划线后的硅片进行扩散掺杂,在正面栅线图形区域形成重掺杂,其它区域形成浅掺杂;
S3:对扩散掺杂后的硅片依次进行刻蚀、镀膜;
S4:进行丝网印刷,其中丝网印刷形成的正面栅线套印在激光划线形成的图形上。
在本发明的一个实施例中,所述激光划线采用的硅片为原始硅片或者制绒后的硅片。
在本发明的一个实施例中,激光划线形成的图形的栅线的宽度为20微米 -200微米。
在本发明的一个实施例中,激光划线形成的图形的栅线的深度不大于2微米。
本发明由于采用以上技术方案,使之与现有技术相比,存在以下的优点和积极效果:
(1)本发明通过先对硅片进行激光划线形成正面电极图形再进行扩散掺杂及后续程序,由于提前在正面栅线印刷的区域进行激光划线,在进行扩散掺杂时,激光划线区域的表面积大于非激光划线区域的面积,激光划线区域的掺杂深度大于非激光划线区域,因此激光划线区域的掺杂量大于非激光划线区域的掺杂量,非激光划线区域的掺杂量相对低一些,因此经过丝网印刷正面栅线印刷后,栅线区域实现了重掺杂,非栅线区域实现了浅掺杂,可以同时获得更高的填充因子FF和短路电流Isc。
附图说明
图1为本发明实施例提供的太阳能电池的制备工艺的流程示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明提出的太阳能电池的制备工艺作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书,本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
请参考图1,如图1所示,本发明实施例提供的太阳能电池的制备工艺包括以下步骤:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国家电投集团西安太阳能电力有限公司;国家电投集团西安太阳能电力有限公司西宁分公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司,未经国家电投集团西安太阳能电力有限公司;国家电投集团西安太阳能电力有限公司西宁分公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的