[发明专利]喷墨头、使用该喷墨头的喷墨装置和器件的制造方法

权利要求书

1.一种喷墨头，具有：

多个喷出单元，所述喷出单元包含喷出液滴的喷嘴、与所述喷嘴连接的第一压力室、与所述第一压力室连接的供给侧第二压力室和排出侧第二压力室、与所述供给侧第二压力室连接的供给侧第三压力室、与所述排出侧第二压力室连接的排出侧第三压力室、对所述第一压力室内的液体赋予喷出力的能量产生元件、所述第一压力室与所述供给侧第二压力室之间的供给侧第一节流部、所述第一压力室与所述排出侧第二压力室之间的排出侧第一节流部、所述供给侧第二压力室与所述供给侧第三压力室之间的供给侧第二节流部、及所述排出侧第二压力室与所述排出侧第三压力室之间的排出侧第二节流部；

供给侧共用流路，其将所述多个喷出单元各自的所述供给侧第三压力室之间连接；以及

排出侧共用流路，其将所述多个喷出单元各自的所述排出侧第三压力室之间连接。

2.根据权利要求1所述的喷墨头，其中，

所述第一压力室、所述供给侧第二压力室、所述排出侧第二压力室、所述供给侧第三压力室以及所述排出侧第三压力室配置为直线状。

3.根据权利要求1所述的喷墨头，其中，

将所述供给侧第一节流部与所述供给侧第二节流部连结的直线不与墨液的流动方向平行。

4.根据权利要求1所述的喷墨头，其中，

在所述供给侧第二压力室配置有供给侧阻尼器。

5.根据权利要求4所述的喷墨头，其中，

跨所述供给侧第三压力室与所述供给侧第二压力室地配置有所述供给侧阻尼器。

6.根据权利要求4所述的喷墨头，其中，

所述供给侧阻尼器的一部分以中空状态配置。

7.根据权利要求4所述的喷墨头，其中，

所述供给侧第一节流部距供给侧阻尼器的距离比所述供给侧第二节流部距供给侧阻尼器的距离远。

8.根据权利要求1所述的喷墨头，其中，

所述供给侧第二节流部的流路阻力大于所述供给侧第一节流部的流路阻力。

9.一种喷墨头，具有：

多个喷出单元，所述喷出单元包含喷出液滴的喷嘴、与所述喷嘴连接的第一压力室、与所述第一压力室连接的供给侧第二压力室和排出侧第二压力室、与所述供给侧第二压力室连接的供给侧第三压力室、对所述第一压力室内的液体赋予喷出力的能量产生元件、所述第一压力室与所述供给侧第二压力室之间的供给侧第一节流部、所述第一压力室与所述排出侧第二压力室之间的排出侧第一节流部、及所述供给侧第二压力室与所述供给侧第三压力室之间的供给侧第二节流部；

供给侧共用流路，其将所述多个喷出单元各自的所述供给侧第三压力室之间连接；以及

排出侧共用流路，其将所述多个喷出单元各自的所述排出侧第二压力室之间连接。

10.根据权利要求9所述的喷墨头，其中，

所述第一压力室、所述供给侧第二压力室、所述排出侧第二压力室以及所述供给侧第三压力室配置为直线状。

11.根据权利要求9所述的喷墨头，其中，

将所述供给侧第一节流部与所述供给侧第二节流部连结的直线不与墨液的流动方向平行。

12.根据权利要求9所述的喷墨头，其中，

在所述供给侧第二压力室配置有供给侧阻尼器，

在所述排出侧第二压力室配置有排出侧阻尼器，

所述供给侧阻尼器的刚性比所述排出侧阻尼器的刚性高。

13.一种喷墨装置，具有：

权利要求1至12中的任一项所述的喷墨头；

驱动控制机构，其生成对所述能量产生元件施加的驱动电压信号，对所述喷墨头的喷出动作进行控制；以及

搬运机构，其使所述喷墨头与被描绘介质相对移动。

14.一种制造方法，其使用权利要求13所述的喷墨装置涂布墨液，由此制造器件。