[发明专利]量子比特检测系统及检测方法

权利要求书

1.一种量子比特检测方法，包括：

使用成像装置对量子比特进行成像；

将得到的像输入机器学习模型；

机器学习模型至少基于所述得到的像输出预测信息；

所述预测信息包括定量信息和定性信息；

所述定量信息包括以下至少一种：工作频率、相干时间、耦合强度。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括：

使用检测装置对量子比特进行检测，得到测试数据；

将测试数据输入所述机器学习模型；

所述机器学习模型基于测试数据和所述得到的像输出预测信息。

3.根据权利要求2所述的方法，还包括：

获取量子比特的设计信息；

将量子比特的设计信息输入所述机器学习模型；

所述机器学习模型基于所述设计信息、所述测试数据和所述得到的像输出预测信息。

4.根据权利要求1-3中任一所述的方法，其中，所述成像装置包括以下至少一种：扫描电子显微镜(SEM)，扫描隧道显微镜(STM)，红外成像装置，紫外成像装置，可见光范围内的成像装置。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，使用成像装置在量子比特的制备过程中进行成像，所述制备过程包括多个步骤。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，使用成像装置在量子比特制备完成后进行成像。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述的定性信息包括：量子比特的分级。

8.根据权利要求1-3中任一所述的方法，其中，所述机器学习模型为以下神经网络之一：卷积神经网络(CNN)、深度神经网络(DNN)、回归神经网络(RNN)。

9.根据权利要求1所述的方法，还包括：

使用检测装置对量子比特进行检测；

将测试数据输入所述机器学习模型；

所述机器学习模型基于测试数据和所述得到的像输出预测信息。

10.一种量子比特检测系统，包括：

测试模块，所述测试模块包括成像装置，所述成像装置配置为对量子比特进行成像；

预测模块，所述预测模块和所述测试模块通信连接，所述预测模块包括机器学习模型，所述机器学习模型配置为至少基于得到的像输出预测信息；

所述预测模块还包括：量子比特缺陷判定和性质预测模块。

11.根据权利要求10所述的量子比特检测系统，其中，所述测试模块还包括检测装置，所述检测装置配置为对量子比特进行检测以得到测试数据。

12.根据权利要求11所述的量子比特检测系统，其中，所述成像装置包括以下至少一种：扫描电子显微镜(SEM)，扫描隧道显微镜(STM)，红外成像装置，紫外成像装置，可见光范围内的成像装置。

13.根据权利要求11所述的量子比特检测系统，其中，所述机器学习模型为以下神经网络之一：卷积神经网络(CNN)、深度神经网络(DNN)、回归神经网络(RNN)。

14.根据权利要求10所述的量子比特检测系统，还包括：交互模块和监控模块，所述监控模块和所述预测模块通信连接，所述交互模块和所述预测模块以及所述监控模块通信连接。

15.根据权利要求10所述的量子比特检测系统，还包括：测试控制模块，所述测试控制模块位于所述测试模块和所述预测模块之间，所述测试控制模块和所述测试模块以及所述预测模块通信连接，所述测试控制模块包括：成像数据产生模块、成像数据读取模块、量子比特测试产生模块、量子比特测试数据读取模块。

16.一种量子比特检测装置，包括：处理器和非暂态存储介质，所述非暂态存储介质存储有指令集，所述指令集被处理器执行时实现如权利要求1～9中任一项所述的量子比特检测方法。