[发明专利]面发光量子级联激光器

权利要求书

1.一种面发光量子级联激光器，具备：

活性层，层叠有多个量子阱层，能够通过次能带间跃迁而放出激光；以及

第1半导体层，设置于上述活性层之上，具有第1面，上述第1面包括由第1凹部构成第1二维光栅的内部区域以及由第2凹部构成第2二维光栅的外周区域，上述第1凹部的光栅间隔是上述第2凹部的光栅间隔的m倍，其中，m为1以上的整数，上述外周区域包围上述内部区域，

上述第1凹部的开口端的第1平面形状为，关于在上述第1平面形状的重心通过并且与上述第1二维光栅的至少1边平行的线非对称，

上述第2凹部的开口端的第2平面形状为，关于在上述第2平面形状的重心通过并且与上述第2二维光栅的全部的边平行的线分别对称，

上述激光具有与上述第2凹部的上述光栅间隔对应的发光波长并且从上述内部区域在与上述活性层大致垂直的方向上被放出。

2.如权利要求1所述的面发光量子级联激光器，

上述第1凹部的上述光栅间隔是上述第2凹部的上述光栅间隔的2倍。

3.如权利要求1或2所述的面发光量子级联激光器，还具备：

上部电极，设置在上述内部区域中的未设置上述第1凹部的部分以及上述外周区域中的未设置上述第2凹部的部分；

第2半导体层，设置在上述活性层的面中的、设置有上述第1半导体层的面的相反侧的面上；以及

下部电极，设置在上述第2半导体层的面中的、上述活性层一侧的相反侧的面上。

4.如权利要求1或2所述的面发光量子级联激光器，

上述第1凹部的内面以及上述第2凹部的内面被绝缘体层分别覆盖。

5.如权利要求3所述的面发光量子级联激光器，

上述第1凹部的内面以及上述第2凹部的内面被绝缘体层分别覆盖。

6.如权利要求5所述的面发光量子级联激光器，

上述内部区域中的未设置上述第1凹部的部分以及上述第1凹部内的上述绝缘体层的表面被上述上部电极所覆盖，并且上述外周区域中的未设置上述第2凹部的部分以及上述第2凹部内的上述绝缘体层的表面被上述上部电极分别覆盖，

在上述下部电极上，在俯视时包括上述内部区域的一部分的部分设置有开口部。

7.如权利要求6所述的面发光量子级联激光器，

上述第1凹部的深度小于上述第2凹部的深度。

8.如权利要求6所述的面发光量子级联激光器，

上述第1凹部的深度到达上述活性层的内部。

9.如权利要求6所述的面发光量子级联激光器，

上述第2凹部的深度，到达上述活性层内部或贯通上述活性层。

10.如权利要求1所述的面发光量子级联激光器，

在俯视时，上述第1凹部与上述第2凹部不重叠。

11.如权利要求1所述的面发光量子级联激光器，

上述第1平面形状包括多个点对称的形状。

12.如权利要求1所述的面发光量子级联激光器，

上述第1凹部的上述二维光栅是正方形光栅或矩形光栅，

上述第1凹部的上述开口端的上述第1平面形状为，关于在上述第1平面形状的上述重心通过并且与上述第1二维光栅的2边分别平行的线非对称。

13.如权利要求1所述的面发光量子级联激光器，

上述第1凹部的上述二维光栅是正三角光栅。