[发明专利]使用声能处理基板的系统、设备和方法有效
申请号: | 201811030650.5 | 申请日: | 2014-02-03 |
公开(公告)号: | CN109201440B | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 约翰·A·考伯勒 | 申请(专利权)人: | 北方华创艾可隆公司 |
主分类号: | B06B1/06 | 分类号: | B06B1/06;B06B3/00;B08B3/12;H01L21/67 |
代理公司: | 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 | 代理人: | 许天易 |
地址: | 美国宾夕*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 处理 系统 设备 方法 | ||
1.一种处理扁平制品的系统,包括:
支架,其用于支撑扁平制品;
分配器,其用于将液体施加到所述支架上的所述扁平制品的第一表面;
换能器组件,包括:
传输结构,其包括外表面和内表面,第一弯曲表面形成所述外表面的底部,第二表面形成所述内表面的一部分,其位置与所述第一弯曲表面相对;
第二表面包括第一平面部分和第二平面部分,所述第一平面部分和第二平面部分以非零角度彼此相交;
第一换能器,其用于产生声能,所述第一换能器包括声学联接到所述第一平面部分的平坦底表面;和
第二换能器,其用于产生声能,所述第二换能器包括声学联接到所述第二平面部分的平坦底表面;
所述换能器组件设置成使得当所述分配器将液体施加到所述支架上的所述扁平制品的所述第一表面时,在所述传输结构的所述第一弯曲表面和所述扁平制品的所述第一表面之间形成液体薄膜。
2.根据权利要求1所述的系统,其中,所述第一换能器被配置为相对于所述扁平制品的表面以第一非法线角度产生声能,导致反射声波远离所述换能器组件行进,并且其中所述第二换能器是被配置为相对于所述扁平制品的表面以第二非法线角度产生声能,导致反射声波远离所述换能器组件行进。
3.根据权利要求2所述的系统,其中所述第一换能器在所述传输结构的纵向轴线的第一侧上朝向所述扁平制品的所述第一表面产生声能,并且其中所述第二换能器在所述传输结构的纵向轴线的第二侧上朝向所述扁平制品的所述第一表面产生声能。
4.根据权利要求1所述的系统,其中所述传输结构是中空管状结构,其限定内腔,并且其中所述第一平面部分和第二平面部分形成所述内腔的底板,所述第一平面部分和第二平面部分在所述内腔的最底部分处相交。
5.根据权利要求4所述的系统,其中所述内表面的顶部是凹面。
6.根据权利要求4所述的系统,其中,所述第一平面部分和第二平面部分形成V形,其中所述非零角度在90°和140°之间。
7.根据权利要求1所述的系统,其中,所述第一平面部分和第二平面部分中的每一个相对于所述扁平制品的所述第一表面成角度。
8.根据权利要求1所述的系统,其中,所述传输结构沿纵向轴线延伸,并且其中所述第一平面部分和第二平面部分中的每一个是位于所述纵向轴线的相对侧上的纵向细长部分,并且还包括第一组换能器和第二组换能器,所述第一组换能器以间隔开的方式声学联接到所述第一平面部分,所述第二组换能器以间隔开的方式声学联接到所述第二平面部分。
9.根据权利要求8所述的系统,其中,所述第一组换能器和所述第二组换能器沿所述传输结构的纵向轴线交错排列。
10.根据权利要求8所述的系统,其中,所述第一组换能器和所述第二组换能器设置为成对地横向对齐。
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