[发明专利]探针卡及讯号路径切换模块总成

说明书

本发明涉及一种探针卡及讯号路径切换模块总成，包括布线基板、电性连接布线基板的连接载板、探针座，以及配置于连接载板的侧周面或底面、并电性连接探针座的探针与连接载板的讯号路径切换模块。讯号路径切换模块包括配置有第一电感性元件的第一线路、配置有第二电感性元件的第二线路，以及电性连接于第一、二线路之间的电容。来自测试机的测试讯号通过布线基板、连接载板、第一、二线路以及探针传递于测试机与待测物之间，而来自待测物的回送测试讯号，经由探针、第一线路的一部份、电容及第二线路的一部份以及另一探针，传输回该待测物。

技术领域

本发明涉及一种探针卡，特别是指一种配置有讯号路径切换模块的探针卡，以及使用于探针卡的讯号路径切换模块总成。

背景技术

探针卡(probe card)是测试机(prober)与待测电子物件(以下简称待测物(device under test,DUT))之间传递测试讯号的传输界面。就先前技术所知，利用探针卡上所配置的继电器或者电容与电感的组合线路来切换讯号传递路径，可以使探针卡所配置的同一根探针，传递来自测试机诸如直流或低频的测试讯号，或者传递来自待测物的高频回送测试讯号(high-frequency loopback test signal)。相关的先前技术，可以参照中国台湾发明第TWI471570、I474008、I489113、I493194以及I529395等专利。

上述先前技术中，所使用的继电器、电容、电感等电子元件往往是以焊接的方式一个一个布设在布线基板(printed circuit board)或者诸如空间转换器(spacetransformer)之类的连接载板(connection substrate)的表面上或者表面的加工凹槽中，或采用内埋式设计将前述元件配置在电路板中，因此加工、组装较为繁杂费时成本较高。此外，目前电子产品设计日趋微小与多功能化，以致待测物的高频回送测试电性接点大幅地增加，导致探针卡必须对应地提供更多数量的高频回送测试通道(loopback testchannel)。然而，现有探针卡的布线基板以及连接载板的表面，已经相当拥挤地布满各种诸如跳线、插槽、被动元件之类的电子元件，很难再有适当的空间来容纳因需要大幅增加高频回送测试通道而必须配置的继电器、电感、电容等电子元件，因此，如何利用现有探针卡的有限空间提供更多的测试通道，是业者亟待解决的课题。

发明内容

针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种配置有讯号路径切换模块的探针卡，可有效利用空间、组装方便并可有效增加测试通道的数量。