[发明专利]太阳能电池的制备方法及其制备装置

权利要求书

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

S100，提供一柔性衬底(10)；

S200，在所述柔性衬底(10)表面制备背电极层(20)；

S300，在所述背电极层(20)远离所述柔性衬底(10)的表面制备吸收层(30)；

S400，在所述吸收层(30)远离所述背电极层(20)的表面制备缓冲层(40)；

S500，在所述缓冲层(40)远离所述吸收层(30)的表面制备高阻层(50)；

S600，在所述高阻层(50)远离所述缓冲层(40)的表面制备窗口层(60)，所述窗口层(60)包括氧化铟锡层(61)和设置于所述氧化铟锡层(61)远离所述高阻层(50)表面的掺铝氧化锌层(62)；

S700，利用湿法刻蚀将所述掺铝氧化锌层(62)刻蚀形成间隔设置的陷光结构(63)。

2.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述S700中，所述湿法刻蚀的刻蚀液的pH值小于7。

3.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述S700中，所述湿法刻蚀的温度为20℃-30℃。

4.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，在所述S700中，所述湿法刻蚀的刻蚀时间为1min-30min。

5.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述柔性衬底(10)为不锈钢、铝合金、钼、钛金属卷材。

6.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述S200包括：

S210，利用超声清洗对所述柔性衬底(10)进行清洗；

S220，在完成清洗的所述柔性衬底(10)表面制备背电极层(20)。

7.一种陷光结构的制备装置(70)，其特征在于，包括：

输送结构(710)，用于平铺输送放置于所述输送结构(710)表面的太阳能电池(100)；

储液池(720)，所述储液池(720)内储存有刻蚀液，以对所述输送结构(710)所输送的太阳能电池(100)的表面进行湿法刻蚀；

循环结构(730)，设置于所述储液池(720)内，用以保持所述储液池(720)内的溶液温度的均匀性。

8.如权利要求7所述的陷光结构的制备装置，其特征在于，所述储液池(720)内设置有控温装置(721)。

9.如权利要求7所述的陷光结构的制备装置，其特征在于，所述输送结构(710)包括：

卷筒(711)，设置于所述太阳能电池(100)输送路线的首端和末端，用于将所述太阳能电池(100)缠绕成卷；

导辊(712)，设置于所述太阳能电池(100)输送路线，用以引导所述太阳能电池(100)的输送方向。

10.如权利要求9所述的陷光结构的制备装置，其特征在于，还包括滚轴(713)，设置于所述导辊(712)的两侧，所述滚轴(713)用以保持所述太阳能电池(100)的平展和压力均衡。