[发明专利]可调节的镀膜修正板机构

说明书

本发明公开了一种可调节的镀膜修正板机构，包括：修正板、位置调整组件和角度调整组件；所述修正板设置有两个，分别使用铰链连接于旋转支架的两侧，两个修正板可相对旋转运动；所述位置调整组件用于调整修正板的高度位置；所述角度调整组件用于调整两个修正板的相互夹角，改变修正板的投影面积。本发明可以适用于不同尺寸及形状特征的待镀膜工件，提高修正板的通用性，降低修正板的制作费用及更换时间，还可以根据实时的镀膜厚度误差，实时、连续的调整修正板的位置，以获得最佳的镀膜厚度均匀性。

技术领域

本发明涉及一种镀膜装置，特别是涉及一种可调节的镀膜修正板机构。

背景技术

蒸镀时，由于蒸镀源与待镀膜工件的相对位置不同，会导致待镀膜工件的镀膜厚度存在差异，镀膜厚度的不均匀是镀膜工艺中常见的不良现象。因此，蒸镀设备通常在待镀膜工件与蒸镀源之间设置修正板，从而修正不同位置的待镀膜工件上的膜层厚度差异。

现有技术中，通常针对不同的待镀膜工件尺寸及外形特征设置专用的修正板，具有通用性差的特点，而且在更换过程中费时费力，影响效率。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明目的在于提供一种结构简单，成本低的可调节的镀膜修正板机构，提高修正板的通用性，降低修正板的制作费用及更换时间。还可以根据实时的镀膜厚度误差，实时、连续的调整修正板的位置，以获得最佳的镀膜厚度均匀性。

为解决上述问题，本发明所采用的技术方案如下：

可调节的镀膜修正板机构，包括：修正板、位置调整组件和角度调整组件；

所述位置调整组件包括旋转支架和推进器；所述推进器固定于底板上；所述旋转支架的一端为固定端，固定端设置有销钉孔，所述销钉孔通过销钉与底板连接；所述旋转支架的另一端为自由端。

所述推进器与旋转支架连接，在推进器的作用下，旋转支架可以绕销钉旋转运动，从而整修正板的高度位置。

所述修正板设置有两个，分别使用铰链连接于旋转支架的两侧。

所述角度调整组件包括连杆、活动块和调整杆，所述调整杆的两端分别设置有支撑座，支撑座固定于旋转支架上；所述活动块与调整杆连接；所述连杆的两端分别设置有万向关节，其中一端的万向关节与活动块连接，另外一端的万向关节与修正板连接；所述连杆共设置有两个，分别连接两个修正板。

优选的，两个修正板的结构互为对称，两个修正板组合后的外轮廓形状为纺锤形。

优选的，所述活动块与调整杆使用螺纹连接。

优选的，所述调整杆的一端设置有手柄，手柄的外圈设置有凹凸纹理。

优选的，所述调整杆上设置有锁紧块。

优选的，所述支撑座包含滚动轴承。

优选的，所述推进器是电缸或气缸中的一种。

优选的，所述推进器与镀膜控制系统电连接。

相比现有技术，本发明的有益效果在于：

本发明的可调节的镀膜修正板机构可以适用于不同尺寸及形状特征的待镀膜工件，提高修正板的通用性，降低修正板的制作费用及更换时间。还可以根据实时的镀膜厚度误差，实时、连续的调整修正板的位置，以获得最佳的镀膜厚度均匀性。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为修改板的立体示意图；

图3为修正板的侧视图；

图4为修正板的俯视图；