[发明专利]三自由度样品杆

权利要求书

1.三自由度样品杆，其特征在于：样品杆上设有纳米定位器，纳米定位器包括驱动件、关节球和压件组件，关节球与驱动件固定，压件组件包括两个压件和弹性连接组件，弹性连接组件连接相邻的压件，压件组件抱住关节球，压件与关节球之间具有预紧力。

2.如权利要求1所述的三自由度样品杆，其特征在于：每个压件分别具有凹陷部和连接部，弹性连接组件设于相邻压件的连接部之间，所有压件的凹陷部组成与关节球配合的凹窝。

3.如权利要求2所述的三自由度样品杆，其特征在于：凹窝呈圆锥形。

4.如权利要求2所述的三自由度样品杆，其特征在于：凹陷部位于板体的中央。

5.如权利要求1所述的三自由度样品杆，其特征在于：压件包括第一压件和第二压件，第一压件上设有供弹性连接组件穿过的通孔，弹性连接组件旋入第二压件并与第二压件紧固连接，第一压件在上，第二压件在下。

6.如权利要求5所述的三自由度样品杆，其特征在于：第一压件的凹窝与第二压件的凹窝分别进行耐磨处理，第一压件的凹窝表面有耐磨层，第二压件的凹窝表面有耐磨层。

7.如权利要求1所述的三自由度样品杆，其特征在于：弹性连接组件为弹簧弹性连接组件一端与第一压件固定，另一端与第二压件固定。