[发明专利]镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法及装置

权利要求书

1.镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法，包括：将高纯稀土氧化物与采用钙还原法制备高纯金属镧碎屑按1:1.2-1.5的比例混匀；将混合的原料装入不锈钢模具，用1000×10⁵Pa -10000×10⁵Pa的压制压力压制成块状，形成成型板坯；再将成型板坯放入真空还原炉坩锅中，抽真空真空度10^-3Pa，加热1000-1500℃进行还原蒸馏，在真空还原炉顶部预置专用靶模进行收集得到成型高纯稀土金属胚体；所述专用靶模倒置在真空还原炉顶部，对成型的稀土金属毛坯进行表面加工，得到稀土金属靶材。

2.根据权利要求1所述的镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法，其特征在于：原料采用稀土总量≥99% 相对纯度≥99.99%，氧化物选用Sm₂O₃、 Eu₂O₃、 Yb₂O₃ 、Tm₂O₃中一种或几种。

3.根据权利要求1所述的镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法，其特征在于：真空加热炉用坩埚材质为钛、钽、钼、钨、石墨中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法，其特征在于：采用镧热还原法制备稀土高纯金属，在高温真空条件下，化学方程式如下：2La（l）+Ln₂o₃(s)=2Ln(s)+La₂O₃（l）。

5.根据权利要求1所述的镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法，其特征在于：根据实际需求，将得到金属靶材加工成圆盘状、圆柱形或长条状，表面应清洁光滑，无指痕，无油污和锈蚀，外观尺寸偏差±0.1-0.15mm,表面粗糙度Ra不大于1.6μm。

6.一种专用靶模装置，其特征在于所述钯模为两个对扣的半圆桶结构，且在半圆桶两侧设有固定板，固定板上设有通孔。

7.根据权利要求６所述的靶模装置，其特征在于：所述固定板通过螺栓可拆卸的固定。

8.根据权利要求６所述的靶模装置，其特征在于：所述钯模为耐高温金属材质。