[发明专利]一种聚烯烃面材UV胶带及其制备方法

说明书

本发明公开一种聚烯烃面材UV胶带及其制备方法，该胶带包括由上下依次叠置的面材、UV胶层和PET离型保护膜，所述面材为PO膜，其组分及质量份配比为：聚丙烯(C₃)10～40份；乙烯‑丙烯共聚物(C₅₍₇₀₎)30～70份；(C₅₍₈₀₎)10～40份；所述UV胶层的组分及质量份配比为：丙烯酸树脂50～100份；环氧树脂交联剂0～5份；碳‑碳双键多元不饱和树脂1～50份；光起始剂混合液0.5～10份。本发明采用更加环保的PO膜作为UV胶带的面材，同时改善了胶层过软或过硬的缺点，利用环氧树脂交联剂与丙烯酸树脂缩聚反应，使胶层与PO膜间附着力与内聚力大幅增强，避免晶圆背面残胶与铁环贴合脱离，还可以使胶带降黏效果大幅提升，使挑拣率为100％。

技术领域

本发明属于薄膜技术领域，具体涉及及一种聚烯烃面材UV胶带及其制备方法。

背景技术

UV胶带是晶圆(wafer，硅半导体集成电路制作所用的硅晶片)加工过程中不可或缺的一种材料，用于将晶圆固定于切割机台上进行切割，当切割完毕后，经由紫外线(UV光线以下称紫外线)照射，此时胶带由极高黏着力急速降低近乎于零，以便于进行下一个制程挑拣。目前中国所使用的UV胶带通常来自日本，其结构包括PVC膜(聚氯乙烯膜)面材、UV胶层和离型保护膜(PET膜)，在使用时为将离型保护膜撕去后黏贴于晶圆背面，当加工完成后，经由紫外线从PVC方向照射，UV胶层的黏着力急速降低近乎于零，以便于挑拣。但是PVC面材的UV胶带含氯较高且很难降解，不能直接焚化或掩埋，造成了极大的环境污染问题。

为避免环境污染问题，替代方案是采用环保型的不含卤素的PO(聚烯烃树脂)膜作为UV胶带的面材，但是采用PO膜作为UV胶带的面材存在以下技术难点：

1、UV胶层对PO膜的附着力不足，导致晶圆切割时易脱胶；

2、UV胶层硬度难以控制；UV胶层过软时，对晶圆的黏着力过高，导致晶圆切割时易残胶，易于与铁环贴合脱离；而UV胶层过硬时易导致离型保护膜粘黏；因此UV胶层的玻化温度以及固化剂的添加量均需严格控制；

3、切割晶圆时PO膜或UV胶层易震动，进而导致背崩现象；

4、PO膜扩张不均匀，导致UV胶层经过紫外线照射后无法降低黏着力或降低黏着力的幅度不大；而且纵向及横向扩张不均，还会导致在挑拣晶粒时发生漏挑或断晶。

综上，采用环保型的PO膜作为UV胶带的面材仍然面临诸多技术难点，急需新的方案解决上述问题。

发明内容

针对现有技术中UV胶层对PO膜附着力不足以及PO膜扩张不均匀的技术问题，本发明的目的是提供一种聚烯烃面材UV胶带。

本发明的聚烯烃面材UV胶带包括由上下依次叠置的面材、UV胶层和PET离型保护膜，其特征在于，

所述面材为PO膜，其组分及质量份配比为：聚丙烯(C₃)10～40份；乙烯含量为65～75wt％的乙烯-丙烯共聚物(C₅₍₇₀₎)30～70份；乙烯含量为75～85wt％的乙烯-丙烯共聚物(C₅₍₈₀₎)10～40份；

所述UV胶层的组分及质量份配比为：玻化温度为-20～-30℃的丙烯酸树脂50～100份；环氧树脂交联剂0～5份；碳-碳双键多元不饱和树脂1～50份；光起始剂混合液0.5～10份。

需要说明的是，上述PO膜与UV胶层的配方之间相互独立，两层材质的组分的质量份数无关联性，即上述的质量份数仅表示PO膜内各组分的质量配比关系，或者UV胶层内各组分的质量配比关系。

所述的乙烯-丙烯共聚物可以是嵌段共聚物，也可以是无规共聚物。