[发明专利]一种砷烷/磷烷废气处理装置及砷烷/磷烷废气处理方法

说明书

本发明涉及一种砷烷/磷烷废气处理装置及砷烷/磷烷废气处理方法，属于废气处理技术领域。本发明的砷烷/磷烷处理装置，包括储液箱、设置于储液箱上并与储液箱连通的进样装置、净化塔、喷淋系统；进样装置包括两端开口的连接器，连接器的顶端设有进气口和进液口，连接器通过储液箱的上部空间与净化塔连通；喷淋系统包括与储液箱连通的循环泵、连通管道、第一喷头区、第二喷头区；净化塔的底部结构为带孔的档板；净化塔内设有第一隔板和第二隔板将净化塔分割为一级净化塔和二级净化塔；一级净化塔和二级净化塔内均装有填料；一级净化塔中的填料的上方设有第一喷头区；二级净化塔中填料的上方设有第二喷头区。本发明的处理装置对废气的处理效率高。

技术领域

本发明涉及一种砷烷/磷烷废气处理装置及砷烷/磷烷废气处理方法，属于废气处理技术领域。

背景技术

砷烷、磷烷是对人体有剧毒的物质，医学毒理研究表明成人吸入250ppm的砷烷、磷烷气体便会迅速死亡，而暴露在30ppm的砷烷、磷烷中30分钟亦可致命。长期暴露在10ppm的砷烷、磷烷也可致命。暴露于0.5ppm的砷烷、磷烷后出现中毒症状。国家环保标准，环境中的砷烷、磷烷最高允许高度为5×10^-8。

砷烷主要产生于半导体工业生产中厂炉管、离子植入制程、MOCVD制程的尾气中。而磷烷主要产生于乙炔生产、黄磷生产、饲料发酵等方面的尾气中。单独处理尾气中的砷烷或磷烷的方法很多。现有技术中常采用高锰酸钾溶液处理含砷烷/磷烷的废气，将高锰酸钾溶液自上而下喷淋与含砷烷/磷烷的废气在喷淋塔内接触吸收，采用高锰酸钾氧化法处理含砷废气，但是高锰酸钾与含砷废气进行氧化还原反应的时会产生锰的结晶物堵塞喷淋系统填料，造成设备停产。

发明内容

本发明的第一个目的在于提供一种砷烷/磷烷废气处理装置，利用该装置处理废气中的砷烷/磷烷效率高达99％。

本发明的第二个目的在于提供一种砷烷/磷烷废气处理方法。

为实现上述目的，本发明的技术方案是：

一种砷烷/磷烷废气处理装置，包括储液箱、设置于所述储液箱上并与所述储液箱连通的进样装置、净化塔、喷淋系统；所述进样装置包括两端开口的连接器，所述连接器的顶端设有进气口和进液口，所述连接器通过所述储液箱的上部空间与所述净化塔连通；所述喷淋系统包括与所述储液箱连通的循环泵、连通管道、第一喷头区、第二喷头区；所述净化塔的底部结构为带孔的档板以实现所述净化塔与所述储液箱气液的流通；所述净化塔内设有第一隔板和第二隔板将所述净化塔分割为一级净化塔和二级净化塔；所述一级净化塔和二级净化塔内均装有填料；所述一级净化塔中的填料的上方设有所述第一喷头区；所述二级净化塔中填料的上方设有所述第二喷头区。

进一步的，上述连接器优选为锥形连接器。进一步优选为锥形连接瓶。

所述储液箱上安装有pH传感器、温度传感器和ORP(氧化还原电位)传感器。

所述档板上的孔的孔径小于所述填料的直径。所述孔既能实现气液的流通而不能使填料通过。

填料可以增大气液接触面积及分散气流，加大喷淋设备对废气的处理效率。

所述一级净化塔和二级净化塔串联连接。

所述连通管道上设有温度控制装置。由于温度会影响吸收液的pH，进而影响吸收液对废气的处理效果，本发明在吸收液流通的管道上设置温度控制器，用于控制吸收液的温度，保证吸收液作用于废气时具有好的净化效果。

所述第一隔板和所述第二隔板之间的空间形成气道供气体流通。

所述第一隔板与所述净化塔的顶端之间有空隙；所述第二隔板与所述净化塔的顶端接触。

所述第一隔板的下端由所述净化塔延伸至所述储液箱中的液面以下。