[发明专利]具有类柱状晶的锆酸钆薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种锆酸钆薄膜的制备方法，其特征在于，所述锆酸钆薄膜的形貌为类柱状晶，所述锆酸钆薄膜中钆与锆原子比为（0.19～1.72）：1；

所述的锆酸钆薄膜的制备方法包括：

（1）分别将钆的有机盐和锆的有机盐加热至250～300℃和320～380℃，得到前驱体气体a和前驱体气体b，所述钆的有机盐为：2、2、6、6四甲基3、5庚二酮钆和/或乙酰丙酮钆；所述锆的有机盐为：2、2、6、6四甲基3、5庚二酮锆和/或乙酰丙酮锆；

（2）通入第一载气与前驱体气体a形成混合气体A，通入第二载气与前驱体气体b形成混合气体B；

（3）再将混合气体A和混合气体B混合后再与反应气体混合，得到混合气体C；

（4）将置于反应腔体内的反应基片升温至700～1000℃并进行激光辐照，然后将混合气体C通过喷头喷向反应基片开始反应10～20分钟，得到所述锆酸钆薄膜。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述锆酸钆薄膜的热导率为0.92～0.96 W/（m•K）。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述钆的有机盐和锆的有机盐的摩尔比为（0.2～1.4）：1。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述钆的有机盐和锆的有机盐的摩尔比为（0.5～1.4）：1。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述加热的升温速率为10～15℃/分钟。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一载气为Ar气，流量为0～50ml/分钟；所述第二载气为Ar气，流量为10～50 ml/分钟。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述混合气体A和混合气体B的总流量为40～80ml/分钟。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述混合气体A和混合气体B的总流量为60ml/分钟。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述反应气体为O₂，流量为160～190ml/分钟。

10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述激光辐照的功率为0～160 W/cm²；所述反应腔体的总压为700～1000 Pa。

11.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，所述激光辐照的功率为40～120 W/cm²。

12.根据权利要求1-11中任一项所述的制备方法，其特征在于，所述喷头和反应基片的距离为20～40 mm。