[发明专利]一种用于液体管路的稳压阀

说明书

本发明提供一种用于液体管路的稳压阀，包括阀体；入液口设置于阀体的一端，入液口内侧包括内凹面；出液口设置于阀体的另一端，出液口包括内壁由入液口向出液口方向逐渐缩小的通孔；阀杆通过弹性元件可移动的连接于阀体中，弹性元件于阀体与阀杆之间形成指向入液口方向的弹力；阀杆朝向入液口的一端与内凹面相适配，阀杆朝向入液口的一端于阀杆位于向入液口方向移动行程最大点时与内凹面具有预定距离；阀杆朝向出液口的一端与通孔形状相适配，阀杆朝向出液口的一端于阀杆向出液口方向移动时，减小通孔的液体流量。本发明的有益效果在于，实现自动控制液体节流，从而减小液体的压力波动和流量波动，并且降低压力波动和流量波动对产品的影响。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种用于半导体加工设备的液体管路的稳压阀。

背景技术

现有技术中，半导体加工机台9中用于加工的液体原料通常通过往复式隔膜泵10以及连接往复式隔膜泵10的管道泵送到机台9，如图3所示，在往复式隔膜泵10中接入压缩空气，往复式隔膜泵10从供液缸12中吸入液体并将该液体压入下游管道，液体流经储能装置11使其回流至供液缸12，多个机台9并联连接在主回路上。如图4所示，其中横轴为时间，纵轴为压力，液体管路中的储能装置11虽然能对液体管路的回路中压力骤降提供补偿，但由于往复式隔膜泵10中存在活塞行程的中段和末段都会发生切换供液缸12的缺陷，从而导致主回路中的压力波动很大，尤其导致长管道这一种具有大压损的管路中的压力波动大，从而使管道接入机台9端的压力波动达0.12Mpa～0.25Mpa。然而机台9具有一定范围的压力波动和流量波动，例如化学机械抛光(CMP)机台9压力波动一般设置为±20％，流量波动一般设置为±10％，当压力波动或流量波动超出该范围时，就会造成机台9报警，从而影响正在研磨的晶圆，严重时甚至会造成晶圆报废。而且周期性的液压冲击容易损坏管路元件，影响机台9寿命。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种旨在实现自动控制液体节流的半导体加工设备的液体管路的稳压阀。

具体技术方案如下：

一种用于液体管路的稳压阀，其中，包括：

阀体；

入液口，设置于阀体的一端，入液口内侧包括内凹面；

出液口，设置于阀体的另一端，出液口包括内壁由入液口向出液口方向逐渐缩小的通孔；

阀杆，通过弹性元件可移动的连接于阀体中，弹性元件于阀体与阀杆之间形成指向入液口方向的弹力；

阀杆朝向入液口的一端与内凹面相适配，阀杆朝向入液口的一端于阀杆位于向入液口方向移动行程最大点时与内凹面具有预定距离；

阀杆朝向出液口的一端与通孔形状相适配，阀杆朝向出液口的一端于阀杆向出液口方向移动时，减小通孔的液体流量。

优选的，用于液体管路的稳压阀，其中，内凹面为内凹的弧面，阀杆朝向入液口的一端设有与弧面适配的弧形部；和/或，

通孔为锥形孔，阀杆朝向出液口的一端设置有适配锥形孔的锥形部。

优选的，用于液体管路的稳压阀，其中，包括上盖，上盖通过螺纹连接阀体，入液口形成于上盖上。

优选的，用于液体管路的稳压阀，其中，包括下盖，下盖通过螺纹连接阀体，出液口形成于下盖上。

优选的，用于液体管路的稳压阀，其中，弹性元件为防腐弹簧，阀体中设置有弹簧座，防腐弹簧套设于阀杆上并被限制于弹簧座及弧形部之间。

优选的，用于液体管路的稳压阀，其中，锥形部与锥形孔同心。

优选的，用于液体管路的稳压阀，其中，锥形孔中部纵向设置有凸棱，凸棱用以防止锥形部堵塞锥形孔。