[发明专利]固晶加工的控制方法、设备、终端及计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种固晶加工的控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：

使固晶臂以预设起跳速度启动并在预定加速时间内加速至最大速度；

使所述固晶臂以所述最大速度及第一减速度移动至第一目标位置；

使所述固晶臂以停止速度及第二减速度运动至第二目标位置；

使所述固晶臂在所述第二目标位置拾取晶圆后全速返回；

根据固晶臂的机械参数及晶圆的抗拉弹性系数相对调整所述第一目标位置距离所述晶圆的相对位置及所述第二目标位置距离所述晶圆的相对位置。

2.根据权利要求1所述的固晶加工的控制方法，其特征在于，还包括：

使所述固晶臂在预定减速时间内从所述最大速度降低至所述停止速度。

3.根据权利要求1所述的固晶加工的控制方法，其特征在于，根据固晶臂的机械参数及晶圆的抗拉弹性系数相对调整所述停止速度及所述第二减速度。

4.一种固晶加工设备，其特征在于，包括：控制器和固晶臂；

所述控制器使固晶臂以预设起跳速度启动并在预定加速时间内加速至最大速度；

所述控制器使所述固晶臂以所述最大速度及第一减速度移动至第一目标位置；

所述控制器使所述固晶臂以停止速度及第二减速度运动至第二目标位置；

所述控制器使所述固晶臂在所述第二目标位置拾取晶圆后全速返回；

所述控制器根据固晶臂的机械参数及晶圆的抗拉弹性系数相对调整所述第一目标位置距离所述晶圆的相对位置及所述第二目标位置距离所述晶圆的相对位置。

5.根据权利要求4所述的固晶加工设备，其特征在于，还包括：

所述控制器使所述固晶臂在预定减速时间内从所述最大速度降低至所述停止速度。

6.根据权利要求4所述的固晶加工设备，其特征在于，所述控制器根据固晶臂的机械参数及晶圆的抗拉弹性系数相对调整所述停止速度及所述第二减速度。

7.一种终端，其特征在于，包括存储器和处理器，所述存储器用于存储计算机程序，所述处理器运行所述计算机程序以使所述终端执行根据权利要求1至3中任一项所述的控制方法。

8.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质中存储有计算机程序，所述计算机程序运行时使计算机执行权利要求1至3中任一项所述的控制方法。