[发明专利]一种指针式芯片定位卡具

说明书

本发明提供了一种指针式芯片定位卡具，运用纵向轨道与横向轨道来控制卡具的位置，进而确定载有生物芯片的样品台在水平面的位置。运用液压装置控制高度，进而确定载有生物芯片的样品台在垂直方向的位置。本发明技术特点是设计的指针式样品台作为固定芯片的载物台，通过移动指针座的位置，使横向指针和纵向指针卡住芯片，而且还可以适用于形状不一的芯片，更加精确了待加工芯片的固定位置。整个卡具操作过程简单可行，既能固定芯片，又能定位芯片，提高了加工效率、质量。

技术领域

本发明涉及一种定位卡具，简单的说，是一种用于激光雕刻机的能够固定不同形状、大小不一的生物芯片，确定其位置的一种指针式芯片定位卡具。

技术背景

目前，随着社会的飞速发展，光刻技术作为微细加工的关键技术，广泛应用于生物芯片等微细加工领域。现阶段，很多光刻机设备上没有配备固定卡具，更没有配备固定生物芯片的卡具，这样就不能固定生物芯片基板，在操作的过程中可能不小心碰到生物芯片基板，这样就会使光刻的位置发生改变，甚至导致光刻失败而重新操作，影响加工时间、效率、质量。其次，有的生物芯片不只光刻一次，需要多次光刻，而且每次光刻完成，都要取下来看其形状、结构是否满足需要，如果没有精确的定位卡具，就不能精确的放到原始的位置，会给精确刻蚀带来困难，更无法满足重复光刻工艺的要求。

因此，需要一种既操作简单便捷，又能满足激光雕刻机的加工多种生物芯片工艺要求的、使用方便的生物芯片定位卡具。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种简单操作的多功能生物芯片定位卡具，解决现有技术中的卡具无法满足工艺加工需要的问题。为了实现上述目的，本发明提供了一种指针式芯片定位卡具。

本发明的技术方案：一种指针式芯片定位卡具，由主体和样品台两部分组成，其特征在于：所述主体的最下面是一个顶表面呈正方形或矩形的长方体的底座，在底座上表面中部安装有一个横贯前后的纵向轨道，纵向轨道的两端与卡具底座齐平。在纵向轨道上面是与之配合的下电动滑块，下电动滑块内部安装有精密轨道电机，下电动滑块顶部的托台之上安装有一个与纵向轨道方向平行垂直的横向轨道。在横向轨道上面是与之配合的上电动滑块，上电动滑块内部安装有精密轨道电机，其顶部安装有一个液压装置。在液压装置内部的升降柱的顶部表面上，加工有与卡具样品台配合连接的嵌合凸台，是主体的最上层的部件；以上各部件精密配合连接成为一个整体，组成本发明的主体部分。设计运用纵向轨道与横向轨道来控制卡具的位置，进而确定生物芯片在水平面的位置。运用液压装置控制高度，进而确定生物芯片在垂直方向的位置。通过轨道与液压装置的双重控制对生物芯片进行定位，便于光刻机对芯片进行精准的标刻。

所述样品台是一个顶表面呈正方形或矩形的长方体，在样品台下底面加工有横截面尺寸与升降柱横截面尺寸一致的样品台底座，样品台底座表面上加工有嵌合凹槽，嵌合凹槽与嵌合凸台精密配合。样品台顶面四边加工有一定高度和宽度的、台面向内侧倾斜的台沿，台沿的中间是放样区，放样区是一个低于台沿的水平光滑的平面。台沿设计在于防止放置芯片时，不小心从放样区侧面滑落掉出。在样品台相邻连接的一个横向的台沿和一个纵向的台沿上，各加工有一根、总共2根水平平行于各自相邻台沿的指针座滑杆，指针座滑杆的设计便于指针座的移动。另外相邻连接的一个横向的台沿和一个纵向的台沿在安装指针座滑杆同样位置上，分别对应加工有横向微标尺和纵向微标尺。横向微标尺和纵向微标尺的设计在于给样品台的放样区建立一个坐标体系，以利于进一步精确定位待加工的芯片。在2根指针座滑杆上，分别贯穿安装有一个、总共2个指针座。安装有指向对面横向微标尺、垂直于横向台沿的纵向指针，在纵向的台沿上的指针座，安装有指向对面纵向微标尺、垂直于纵向台沿的横向指针。垂直沿台安装的纵向指针和横向指针的设计，一是与对边的台沿一起用来夹紧待加工的芯片，二是用来精确指示芯片固定的位置。横向指针和纵向指针的前端同一中心线上安装有指针尖，此设计利于精确指示坐标数据。横向指针和纵向指针的交叉处有固定指针的指针固定块，指针固定块设计的目的在于固定夹紧横向指针和纵向指针，以固化待加工芯片的位置。相邻的2根指针座滑杆与对面的横向微标尺和纵向微标尺的台沿，共同夹紧放样区内的待加工芯片。