[发明专利]磁传感器的低频本征噪声测试系统及测试方法

权利要求书

1.一种磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于，所述磁传感器的低频本征噪声测试系统至少包括：

稳场磁传感器、待测磁传感器、检测信号读出模块，反馈模块及补偿模块；

所述稳场磁传感器及所述待测磁传感器设置于所述补偿模块中；

所述检测信号读出模块连接于所述稳场磁传感器及所述待测磁传感器的输出端，用于读取所述稳场磁传感器及所述待测磁传感器的输出信号；

所述反馈模块的输入端连接于所述检测信号读出模块的输出端、输出端连接所述补偿模块，用于将所述稳场磁传感器检测到的信号反馈到所述补偿模块中；

所述补偿模块基于所述反馈模块的输出信号产生与环境磁场波动相反的补偿磁场。

2.根据权利要求1所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述待测磁传感器包括SQUID磁传感器、霍尔磁传感器、各向异性磁电阻磁传感器或巨磁电阻磁传感器。

3.根据权利要求1所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述稳场磁传感器包括SQUID磁传感器、霍尔磁传感器、各向异性磁电阻磁传感器或巨磁电阻磁传感器。

4.根据权利要求1所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述稳场磁传感器包括设置于至少一个轴向上的SQUID磁强计。

5.根据权利要求4所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述磁传感器低频本征噪声测试系统还包括为所述SQUID磁强计提供低温环境的制冷液体，所述制冷液体容置于无磁杜瓦中。

6.根据权利要求4所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述检测信号读出模块包括SQUID读出电路，所述SQUID读出电路的通道与所述SQUID磁强计的数量对应。

7.根据权利要求4所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述稳场磁传感器包括三个SQUID磁强计，分别设置于三个互相垂直的平面上。

8.根据权利要求7所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述补偿模块包括分别设置于三个互相垂直的轴向的补偿线圈，与各SQUID磁强计的轴向对应设置。

9.根据权利要求1所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述反馈模块包括至少一路比例积分微分电路，所述比例积分微分电路的输入端连接所述稳场磁传感器一个轴向的检测信号、输出端连接与输入的检测信号轴向一致的补偿线圈。

10.根据权利要求9所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述比例积分微分电路包括依次连接的比例放大器、积分器及功率放大器。

11.根据权利要求1所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述补偿模块包括与所述稳场磁传感器的轴向一致的补偿线圈。

12.根据权利要求11所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述补偿线圈为正多边形或圆形。

13.根据权利要求11所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：各轴向均包括两个补偿线圈，任意轴向上的两个补偿线圈分别设置于所述稳场磁传感器的两侧。

14.根据权利要求1所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述磁传感器的低频本征噪声测试系统还包括数据采集模块，连接于所述检测信号读出模块，用于获取所述待测磁传感器的输出信号并进行处理，以得到所述待测磁传感器的低频本征噪声。

15.根据权利要求1～14任意一项所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统，其特征在于：所述稳场磁传感器及所述待测磁传感器采用同一个磁传感器。

16.一种基于如权利要求1～15任意一项所述的磁传感器的低频本征噪声测试系统的磁传感器的低频本征噪声测试方法，其特征在于，所述磁传感器的低频本征噪声测试方法至少包括：

稳场磁传感器检测环境磁场，将所述稳场磁传感器检测到的信号反馈到补偿模块，所述补偿模块产生与环境磁场相反的补偿磁场，动态补偿所述环境磁场，进而获得稳定磁场；

待测磁传感器在所述稳定磁场中检测环境磁场，输出稳定磁场信号及所述待测磁传感器的低频本征噪声，进而获得所述待测磁传感器的低频本征噪声。