[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件

说明书

本发明提供一种在抑制振动板的位移量的降低的同时确保振动板的强度的液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。液体喷射头具备：喷嘴，其对液体进行喷射；流道基板，其形成有与所述喷嘴连通的压力室和与所述压力室连通的液体供给室；振动板，其被设置于所述流道基板上，且与所述压力室和所述液体供给室重叠；以及压电元件，其被形成于所述振动板中的与所述压力室相反的一侧，所述振动板中的与所述压力室重叠的部分的厚度和所述振动板中的与所述液体供给室重叠的部分的厚度相比而较薄。

技术领域

本发明涉及一种液体喷射头的结构。

背景技术

目前，提出了一种通过压电元件使构成压力室的壁面的振动板振动而从喷嘴喷射出压力室内的液体的液体喷射头。例如，在专利文献1中，公开了一种用振动板将形成有油墨供给室、独立流道以及独立液室的流道基板覆盖的结构。在振动板中的与油墨供给室相对应的部分上形成有具有过滤器功能的油墨供给口，在振动板中的与独立液室相对应的部分形成有压电元件。

但是，在专利文献1的技术中，由于振动板的厚度在整个区域中是恒定的，因此，难以同时确保振动板中的与独立液室相对应的部分的位移量和振动板中的与油墨供给室相对应的部分的强度。

专利文献1：日本特开2013-000993号公报

发明内容

考虑到以上的事实情况，本发明的优选的方式的目的在于，在确保振动板的位移量的同时确保振动板的强度。

方式一

为了解决以上的技术问题，本发明的优选方式(方式一)所涉及的液体喷射头具备：喷嘴，其对液体进行喷射；流道基板，其形成有与所述喷嘴连通的压力室和与所述压力室连通的液体供给室；振动板，其被设置于所述流道基板上，且与所述压力室和所述液体供给室重叠；以及压电元件，其被形成于所述振动板中的与所述压力室相反的一侧，所述振动板中的与所述压力室重叠的部分的厚度和所述振动板中的与所述液体供给室重叠的部分的厚度相比而较薄。在以上的方式中，由于振动板中的与压力室重叠的部分的厚度和振动板中的与液体供给室重叠的部分的厚度相比而较薄，因此，与振动板的厚度无论振动板的位置如何都是恒定的结构相比较，能够在确保振动板中的与压力室重叠的部分的位移量的同时确保振动板中的与液体供给室重叠的部分的强度。

方式二

在方式一的优选例(方式二)中，所述振动板中的与所述液体供给室重叠的部分包含形成有多个贯通孔的过滤器部。在以上的方式中，由于振动板包含过滤器部，因此，能够对液体中所包含的气泡或异物进行捕集。此外，由于振动板也作为过滤器部而发挥功能，因此，与将过滤器部设置为和振动板不同的要素的结构相比较，简化了液体喷射头的结构。

方式三

在方式一或者方式二的优选例(方式三)中，在所述振动板中的与所述压力室重叠的部分中的靠该压力室侧的表面上形成有与其他的部分相比凹陷的凹部。在以上的方式中，由于在振动板中的与压力室重叠的部分中的靠该压力室侧的表面上形成有与其他部分相比而凹陷的凹部，因此，和在振动板中的与压力室相反的一侧的表面上形成有凹部的结构相比较，能够充分地确保压力室的容量。

方式四

在方式三的优选例(方式四)中，所述振动板中的与所述液体供给室重叠的部分中的靠该液体供给室侧的表面由压缩应力膜形成，在所述振动板中的与所述压力室重叠的部分中的靠该压力室侧的表面上未形成有所述压缩应力膜。在以上的方式中，由于振动板中的与液体供给室重叠的部分中的靠该液体供给室侧的表面由压缩应力膜形成，在振动板中的靠压力室侧的表面上未形成有压缩应力膜，因此，振动板中的与压力室重叠的部分向压电元件侧挠曲。因此，与振动板中的靠液体供给室侧的表面由拉伸应力膜形成、并在压力室侧的表面上未形成有拉伸应力膜的结构(即，振动板向压力室侧挠曲的结构)相比较，能够抑制压电元件的劣化。

方式五