[发明专利]激光抛光装置及抛光方法

说明书

本申请实施例提供一种激光抛光装置及抛光方法，涉及抛光技术领域。其中，所述装置通过分束器将激光器发出的初始光束分为第一光束、第二光束和第三光束，然后通过扫描器接收所述第一光束、第二光束和第三光束，并将所述第一光束、第二光束和第三光束投射到待加工元件，在待加工元件上形成第一光束对应的预热光斑、第二光束对应的抛光光斑以及第三光束对应的退火光斑，实现了在抛光处理的同时对待加工元件进行预热和退火，避免了在对玻璃等脆性材料进行抛光的过程中由于温度梯度较大产生热应力导致加工元件产生裂纹。

技术领域

本申请涉及抛光技术领域，具体而言，涉及一种激光抛光装置及抛光方法。

背景技术

采用激光对玻璃等脆性材料进行抛光处理的过程中，由于温度梯度分布较大，产生的热应力有可能使加工元件产生裂纹。

现有技术中，通过预热技术和退火技术可以在一定程度上解决该问题，但是需要增加新的加工设备，并且需要多道处理工序，使得激光抛光的效率优势降低。

因此，对于本领域技术人员而言，研究一种集成预热和退火功能的激光抛光装置具有重要意义。

发明内容

为了解决上述问题，本申请提供一种激光抛光装置及抛光方法，以实现在抛光处理的同时对待加工元件进行预热和退火。

为了实现上述目的，本申请较佳实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本申请实施例提供一种激光抛光装置，所述装置包括激光器、分束器及扫描器；

所述激光器发出的初始光束经过所述分束器分束得到功率不同的第一光束、第二光束和第三光束；

所述扫描器接收所述第一光束、第二光束和第三光束，并将所述第一光束、第二光束和第三光束投射到待加工元件，在待加工元件上形成第一光束对应的预热光斑、第二光束对应的抛光光斑以及第三光束对应的退火光斑对待加工元件进行抛光处理；其中，

所述抛光光斑位于所述预热光斑与退火光斑之间，且所述抛光光斑对应的第二光束的功率大于所述第一光束和第三光束的功率。

可选地，在本申请的一种实施例中，所述分束器包括第一部分反射镜、第二部分反射镜及全反射镜；

所述第一部分反射镜的透反比大于所述第二部分反射镜的透反比；

所述第一部分反射镜、第二部分反射镜及全反射镜沿所述初始光束的传播方向依次设置，且所述第一部分反射镜、第二部分反射镜及全反射镜相对于所述初始光束的夹角依次增大。

可选地，在本申请的另一种实施例中，所述分束器包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜及第四反射镜；其中，

所述第一反射镜和第二反射镜相对于所述初始光束的中轴线对称，所述第三反射镜和第四反射镜相对于所述初始光束的中轴线对称；

所述第三反射镜和第四反射镜相对于激光器的距离小于所述第一反射镜和第二反射镜相对于激光器的距离。

进一步地，在本申请实施例中，所述激光器包括脉冲调制器，所述装置还包括温度探测器及控制器；

所述温度探测器用于采集所述抛光光斑对应的加工区域的温度数据；

所述温度探测器与所述控制器通信连接，所述控制器与所述脉冲调制器电性连接，所述控制器根据所述温度探测器采集的温度数据控制所述脉冲调制器对激光器的发光功率进行调节。

可选地，在本申请实施例中，所述装置还包括固定支架，所述温度探测器通过所述固定支架固定并对准所述抛光光斑对应的加工区域。

进一步地，在本申请实施例中，所述扫描器包括扫描振镜和平场聚焦透镜；