[发明专利]形状测定装置的控制方法有效
| 申请号： | 201811044213.9 | 申请日： | 2018-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109470193B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 野田孝 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G05B15/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 形状 测定 装置 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种形状测定装置的控制方法，所述形状测定装置使探头沿着测定对象物的表面移动来测定所述测定对象物的形状，所述形状测定装置的控制方法包括：
基于根据预先获得的所述测定对象物的形状数据设定的移动路径的形状，生成用于使所述探头沿所述移动路径移动的速度图案；
判定所述速度图案的速度变更的定时是否与所述形状测定装置的控制采样周期同步；
在所述速度图案的速度变更的所述定时与所述控制采样周期不同步的情况下，对所述速度图案进行修正使得所述速度图案的速度变更的所述定时与所述形状测定装置的控制采样周期同步；
假定为在加速区间内从开始速度Vs起单调地进行加速而达到修正最高速度Vm、并且在减速区间内从修正最高速度Vm起单调地进行减速而达到结束速度Ve，计算修正后的速度图案的加速区间和减速区间的虚拟S形速度曲线；
计算所述探头在按照各虚拟S形速度曲线进行移动的情况下缺少的距离Da；
以通过修正后的加速区间或修正后的减速区间的控制采样次数对所述缺少的距离Da进行补偿的方式计算速度补偿量ΔV；并且
在各控制采样定时将所述虚拟S形速度曲线加上所述速度补偿量ΔV所得到的值设为修正后的速度。
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